[实用新型]一种硅片用流转式烘干装置

权利要求书

1.一种硅片用流转式烘干装置，其特征是，包括机架(1)、流转机构(2)、传输机构(3)和夹持机构(4)，所述流转机构(2)用于供硅片放置后流转等待烘干，所述传输机构(3)用于运输硅片，所述夹持机构(4)用于夹持硅片，使硅片在流转机构(2)和传输机构(3)之间转移，所述流转机构(2)、传输机构(3)和夹持机构(4)均安装在机架(1)内，所述传输机构(3)和夹持机构(4)还均位于流转机构(2)内，所述夹持机构(4)位于传输机构(3)上方。

2.如权利要求1所述的一种硅片用流转式烘干装置，其特征在于：所述流转机构(2)包括两个流转组件(21)和若干用于供硅片安放的托架(22)，所述托架(22)安装在两个流转组件(21)之间，所述流转组件(21)包括链条(211)和若干链轮(212)，所述链轮(212)转动安装在机架(1)内，所述链条(211)绕经链轮(212)，所述链轮(212)位于链条(211)围绕成的空腔内，所述托架(22)和链条(211)铰接。

3.如权利要求1所述的一种硅片用流转式烘干装置，其特征在于：所述传输机构(3)包括安装架(31)、传输滑块(32)、传输导轨(33)和传输气缸(34)，所述安装架(31)的两端均穿过机架(1)，所述传输滑块(32)、传输导轨(33)和传输气缸(34)均位于安装架(31)内，所述传输滑块(32)滑动安装在传输导轨(33)上，所述传输气缸(34)一端和传输导轨(33)底面固定连接，所述传输气缸(34)另一端和安装架(31)内底面固定连接。

4.如权利要求1所述的一种硅片用流转式烘干装置，其特征在于：所述夹持机构(4)为机械爪。