[实用新型]一种硅片用流转式烘干装置

说明书

本实用新型涉及硅片生产设备技术领域，尤其是涉及一种硅片用流转式烘干装置，包括机架、流转机构、传输机构和夹持机构，所述流转机构用于供硅片放置后流转等待烘干，所述传输机构用于运输硅片，所述夹持机构用于夹持硅片，使硅片在流转机构和传输机构之间转移，所述流转机构、传输机构和夹持机构均安装在机架内，所述传输机构和夹持机构还均位于流转机构内，所述夹持机构位于传输机构上方，实现了硅片干燥过程中自动进料和出料，通过流转机构实现了硅片在烘干装置的机架内的停留烘干，通过夹持机构将硅片在流转机构和传输机构之间的上料和下料，无需人工摆放与拿取，降低了硅片生产过程中的劳动强度，提高了自动化程度和生产效率。

技术领域

本实用新型涉及硅片生产设备技术领域，尤其是涉及一种硅片用流转式烘干装置。

背景技术

HIT太阳能光伏电池是以光照射侧的p/i型a-Si膜和背面侧的i/n型a-Si膜夹住单结晶硅片来构成的。HIT太阳能光伏电池基板以硅基板为主，在硅基板上沉积高能隙的硅纳米薄膜，表层再沉积透明导电膜，背面设有背表面电场。通过优化硅的表面结构，可以降低透明导电氧化层和a-Si层的光学吸收损耗。

HIT太阳能光伏电池制备时，硅片表面印刷完导电浆后需要进行烘干，现在硅片的生产中对硅片的干燥，需要人工将硅片分散在干燥设备中进行干燥，干燥结束后，再由人工将其取出，无法自动上下料，劳动强度大，也无法连续生产，降低了硅片的干燥效率，同时干燥效果差，影响硅片下一工序的加工。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：为了克服现有技术中烘干设备自动化程度低和烘干效率低的问题，提供一种硅片用流转式烘干装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种硅片用流转式烘干装置，包括机架、流转机构、传输机构和夹持机构，所述流转机构用于供硅片放置后流转等待烘干，所述传输机构用于运输硅片，所述夹持机构用于夹持硅片，使硅片在流转机构和传输机构之间转移，所述流转机构、传输机构和夹持机构均安装在机架内，所述传输机构和夹持机构还均位于流转机构内，所述夹持机构位于传输机构上方，将传输机构和夹持机构安装在流转机构内的设计，能够减少烘干装置的体积，提高空间利用率。

为了解决待烘干硅片在烘干装置内停留的问题，进一步包括所述流转机构包括两个流转组件和若干用于供硅片安放的托架，所述托架安装在两个流转组件之间，所述流转组件包括链条和若干链轮，所述链轮转动安装在机架内，所述链条绕经链轮，所述链轮位于链条围绕成的空腔内，所述托架和链条铰接，可在流转组件之间安装多个托架以提高单位时间烘干的硅片数量，从而进一步提高生产效率。

为了解决传输机构运输的问题，进一步包括所述传输机构包括安装架、传输滑块、传输导轨和传输气缸，所述安装架的两端均穿过机架，所述传输滑块、传输导轨和传输气缸均位于安装架内，所述传输滑块滑动安装在传输导轨上，所述传输气缸一端和传输导轨底面固定连接，所述传输气缸另一端和安装架内底面固定连接，通过传输滑块、传输导轨和传输气缸实现硅片的间隔式传输，能够将硅片架设在安装架上，便于夹持装置夹取和夹持装置放料。

为了解决硅片在传输机构和流转机构之间转移的问题，进一步包括所述夹持机构为机械爪，机械爪来夹持硅片以及适应不同尺寸的硅片。

本实用新型的有益效果是：本实用新型提供的一种硅片用流转式烘干装置，通过传输机构将硅片进行转运，实现了硅片干燥过程中自动进料和出料，通过流转机构实现了硅片在烘干装置的机架内的停留烘干，通过夹持机构将硅片在流转机构和传输机构之间的上料和下料，无需人工摆放与拿取，降低了硅片生产过程中的劳动强度，提高了自动化程度和生产效率。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型A-A处的剖视结构示意图。