[实用新型]一种光罩镭雕用夹持机构有效
| 申请号： | 202120772006.6 | 申请日： | 2021-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN214751323U | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 郑永庆;张衡;陈宏渊 | 申请（专利权）人： | 艾斯尔光电（南通）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/80 |
| 代理公司： | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人： | 王新爱 |
| 地址： | 226000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光罩镭雕用 夹持 机构 | ||
【权利要求书】：
1.一种光罩镭雕用夹持机构, 包括光罩载台（1），其特征在于：所述光罩载台（1）上开设放置槽（2），所述放置槽（2）内对称安装两组夹紧组件，两组所述夹紧组件之间夹持待镭雕光罩（3），所述光罩载台（1）下方设置底座（4），所述光罩载台（1）与所述底座（4）之间安装升降气缸（5）和减震组件。
2.根据权利要求1所述的一种光罩镭雕用夹持机构，其特征在于：每组所述的夹紧组件包括顶推气缸（6）和顶紧板（7），所述顶推气缸（6）安装于放置槽（2）侧壁和顶紧板（7）之间，所述顶紧板（7）表面包覆橡胶层（8）。
3.根据权利要求1所述的一种光罩镭雕用夹持机构，其特征在于：所述减震组件设置两组，每组所述的减震组件均包括导向柱（9）和减震弹簧（10），所述减震弹簧（10）套设于导向柱（9）外部。
4.根据权利要求1所述的一种光罩镭雕用夹持机构，其特征在于：所述底座（4）包括上座体（11）、下座体（12）和减震板（13），所述减震板（13）安装于上座体（11）和下座体（12）之间。
5.根据权利要求4所述的一种光罩镭雕用夹持机构，其特征在于：所述减震板（13）采用橡塑海绵板。
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