[实用新型]一种光罩检测治具有效
| 申请号： | 202120771970.7 | 申请日： | 2021-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN214749727U | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 郑永庆;张衡;陈宏渊 | 申请（专利权）人： | 艾斯尔光电（南通）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;B25B11/00 |
| 代理公司： | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人： | 王新爱 |
| 地址： | 226000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 检测 | ||
【权利要求书】：
1. 一种光罩检测治具, 包括安装平台（1），其特征在于：所述安装平台（1）上端面中心设在凸起光罩放置平台（2），所述凸起光罩放置平台（2）表面均布若干吸气孔（3），所述安装平台（1）四周分别安装第一挡块（4）、第二挡块（5）、第三挡块（6）和第四挡块（7），所述第一挡块（4）和第三挡块（6）内侧分别安装第一顶推组件（8），所述第二挡块（5）和第四挡块（7）内侧分别安装第二顶推组件（9）。
2.根据权利要求1所述的一种光罩检测治具，其特征在于：所述第一顶推组件（8）和第二顶推组件（9）结构完全一致，包括顶推气缸（10）和顶推块（11），所述顶推气缸（10）尾端固定于挡块内侧，所述顶推气缸（10）伸缩端与顶推块（11）连接。
3.根据权利要求2所述的一种光罩检测治具，其特征在于：所述顶推块（11）采用L型结构。
4.根据权利要求3所述的一种光罩检测治具，其特征在于：所述顶推块（11）内侧壁包覆硅胶垫（12）。
5.根据权利要求1所述的一种光罩检测治具，其特征在于：所述凸起光罩放置平台（2）表面还包覆耐磨膜（13）。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于艾斯尔光电（南通）有限公司，未经艾斯尔光电（南通）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202120771970.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种便携式光罩转运箱
- 下一篇：一种自动摇瓶装置
