[实用新型]一种用于硅片斜放的舟

权利要求书

1.一种用于硅片斜放的舟,其特征在于：包括端板、挂耳、卡接组件和支撑组件，挂耳倾斜固设在端板，卡接组件包括卡接件，支撑组件包括支撑件，卡接件设置有若干卡接槽，支撑件设置有若干支撑槽，对应卡接槽和支撑槽的连线与卡接件和支撑件垂直，挂耳与连线倾斜设置，挂耳控制硅片的倾斜。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅片斜放的舟，其特征在于：所述端板设置有三组，两组端板对称分布，卡接组件和支撑组件连接在两组端板之间，挂耳相对于卡接组件和支撑组件倾斜设置；另一组端板设置在两组端板之间且位于卡接组件和支撑组件外侧，用于舟翻转时对硅片进行支撑。

3.根据权利要求2所述的一种用于硅片斜放的舟，其特征在于：所述卡接组件位于两组端板的上方，支撑组件位于两组端板的下方，两组支撑件用于在硅片的下方向上支撑和限制硅片，两组卡接件用于在硅片的上方向下限制硅片，卡接组件和支撑组件在硅片的上下方向对硅片进行限制。

4.根据权利要求2所述的一种用于硅片斜放的舟，其特征在于：所述卡接槽以及支撑槽的开口方向相对于卡接件和支撑件的长度方向垂直向下，且卡接槽以及支撑槽的开口方向相对。

5.根据权利要求2所述的一种用于硅片斜放的舟，其特征在于：所述端板、卡接组件和支撑组件形成硅片的放置区域，通过驱动挂耳带动舟翻转，使硅片放置区域的方向与上下料机中硅片的下料方向一致。

6.根据权利要求1所述的一种用于硅片斜放的舟，其特征在于：所述端板至少设置有两组，两组端板对称分布，卡接组件和支撑组件连接在两组端板之间，挂耳相对于卡接组件和支撑组件倾斜设置。

7.根据权利要求6所述的一种用于硅片斜放的舟，其特征在于：所述卡接组件位于两组端板的上方，支撑组件位于两组端板的下方，两组卡接件位于硅片的左右方向，两组支撑件用于在硅片的下方向上支撑和限制硅片，两组卡接件用于在硅片的左右方向对硅片进行限制，卡接组件和支撑组件在硅片的左右以及下三个方向对硅片进行限制。

8.根据权利要求6所述的一种用于硅片斜放的舟，其特征在于：所述卡接槽的开口方向相对于卡接件和支撑件的长度方向水平垂直，且两组卡接槽的开口方向相对，支撑槽的开口方向位于竖直方向。

9.根据权利要求1所述的一种用于硅片斜放的舟，其特征在于：所述卡接件上固设有若干卡接齿，支撑件上固设有若干支撑齿，相邻的卡接齿形成卡接槽，相邻的支撑齿形成支撑槽。