[实用新型]一种扩晶装置

说明书

本实用新型实施例公开了一种扩晶装置，用于解决现有扩晶装置中的晶圆台无法进行位置调整，导致工作效率较低的技术问题。本实用新型实施例包括底座、X轴直线驱动模组、Y轴直线驱动模组、承托板以及晶圆台；所述X轴直线驱动模组安装于所述底座上，所述Y轴直线驱动模组连接于所述X轴直线驱动模组上，所述X轴直线驱动模组可驱动所述Y轴直线驱动模组沿X轴方向移动，所述承托板连接于所述Y轴直线驱动模组上，所述Y轴直线驱动模组可驱动所述承托板沿Y轴方向移动，所述晶圆台转动连接于所述承托板上，所述承托板上安装有旋转驱动模组，所述旋转驱动模组与所述晶圆台连接，所述旋转驱动模组可驱动所述晶圆台相对于所述承托板转动。

技术领域

本实用新型涉及扩晶装置技术领域，尤其涉及一种扩晶装置。

背景技术

现有技术中，晶元片一般被放置在扩晶装置的晶圆台上后才会进行后续的拾取晶元工序，由于晶圆台位置不可调整，一些位置较偏的晶元因此无法被拾取装置所拾取，工作人员只能将晶圆片取出调整角度后再放入到晶圆台以使偏僻位置的晶圆能够被拾取装置拾取。由上述的过程可知，拾取晶元的过程中需要人手进行调整位置，严重影响了工作效率。

因此，为解决上述的技术问题，寻找一种能够调整晶元台位置的扩晶装置成为本领域技术人员所研究的重要课题。

实用新型内容

本实用新型实施例公开了一种扩晶装置，用于解决现有扩晶装置中的晶圆台无法进行位置调整，导致工作效率较低的技术问题。

本实用新型实施例提供了一种扩晶装置，包括底座、X轴直线驱动模组、Y轴直线驱动模组、承托板以及晶圆台；

所述X轴直线驱动模组安装于所述底座上，所述Y轴直线驱动模组连接于所述X轴直线驱动模组上，所述X轴直线驱动模组可驱动所述Y轴直线驱动模组沿X轴方向移动，所述承托板连接于所述Y轴直线驱动模组上，所述Y轴直线驱动模组可驱动所述承托板沿Y轴方向移动，所述晶圆台转动连接于所述承托板上，所述承托板上安装有旋转驱动模组，所述旋转驱动模组与所述晶圆台连接，所述旋转驱动模组可驱动所述晶圆台相对于所述承托板转动。

可选地，所述X轴直线驱动模组为丝杠传动或皮带传动的直线驱动模组。

可选地，所述Y轴直线驱动模组为丝杠传动或皮带传动的直线驱动模组。

可选地，所述旋转驱动模组包括第一电机、主动皮带轮以及传动皮带；

所述第一电机固定安装于所述承托板上，所述第一电机的输出轴与所述主动皮带轮连接，所述主动皮带轮通过所述传动皮带与所述晶圆台的底部连接。

可选地，所述旋转驱动模组还包括第一辅助轮和第二辅助轮；

所述第一辅助轮和所述第二辅助轮均转动连接于所述承托板上，且所述第一辅助轮和所述第二辅助轮分别设置于所述主动皮带轮的相对两侧；

所述传动皮带经所述第一辅助轮和所述第二辅助轮后与所述晶圆台的底部连接。

可选地，所述承托板上还安装有升降组件；

所述升降组件包括升降环以及至少一个升降模组；

所述升降环套装于所述晶圆台上，所述升降模组固定于所述承托板上，且所述升降模组与所述升降环连接，所述升降模组可驱动所述升降环沿所述晶圆台升降，所述升降环靠近所述晶圆台的进料端的侧面设置有安装板，所述安装板的相对两侧设置有物料导引板。

可选地，所述升降模组包括第二电机、螺杆以及螺母；

所述第二电机固定安装于所述承托板上，所述螺母连接于所述第二电机的内部，所述螺杆与所述螺母螺纹连接，所述第二电机驱动所述螺母转动以使所述螺杆伸缩，所述螺杆与所述升降环固定连接。

从以上技术方案可以看出，本实用新型实施例具有以下优点：