[实用新型]一种设备更换辅助装置

说明书

本实用新型提供一种设备更换辅助装置，包括支撑结构和升降结构，所述升降结构安装在所述支撑结构中，所述升降结构带动所述支撑结构上升或下降，设备置于所述支撑结构上。本实用新型的设备更换辅助装置结构紧凑，适用于狭小空间工作，还可以在冷泵更换、维修时，可以支撑冷泵，以避免维修人员的长时间持重造成的人员受伤的风险，还有利于快速安装，节约时间和人力。

技术领域

本实用新型涉及集成电路技术领域，特别是涉及一种设备更换辅助装置，例如冷泵更换辅助装置。

背景技术

在IC(集成电路，integrated circuit)制造中所使用的PVD Endura II设备会使用到Cryo pump(冷泵)，冷泵的作用是将腔室内的水汽、碳水化合物、Ar/N₂/O₂/CO₂/CO等气体吸附在冷泵的一级冷头和二级冷头上，从而使得腔室内的真空度达到高真空状态(即1.0E torr-6～1.0E-8torr)，因为长时间的工作使得冷泵的冷头的吸附能力会逐渐变差，所以需要定期对冷泵进行更换、维修；而冷泵的重量约为55lbs(即25Kg)，同时腔室的底部空间较小，若从底部将冷泵从腔室中更换则需要长时间地托着冷泵，长时间的持重容易造成冷泵滑落，从而造成维修人员被砸伤或脱臼等风险。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种设备更换辅助装置，可以在冷泵更换、维修时，可以支撑冷泵，以避免维修人员的长时间持重造成的人员受伤的风险，还有利于快速安装，节约时间和人力。

为了解决上述问题，本实用新型提供一种设备更换辅助装置，包括支撑结构和升降结构，所述升降结构安装在所述支撑结构中，所述升降结构带动所述支撑结构上升或下降，设备置于所述支撑结构上。

可选的，所述支撑结构包括底座和第一支架，所述第一支架安装在所述底座上，所述升降结构位于所述底座上，且支撑所述第一支架，所述第一支架支撑设备，所述底座支撑和固定所述第一支架及升降结构。

进一步的，所述底座包括底板和多个底柱，所述多个底柱平行设置，且均安装在所述底板的同一侧。

进一步的，所述第一支架包括支柱和支撑台面，所述支柱的一端套设在所述底柱的外侧且沿所述底柱的轴向上下移动，所述支柱的另一端安装所述支撑台面。

进一步的，所述支柱的数量与所述底柱的数量相同，且每个所述支柱套设在一个所述底柱上。

进一步的，所述设备的底部的外表面为弧形，所述支撑台面朝向所述底板的方向凹陷，所述凹陷与设备的底部的外表面相互匹配。

进一步的，所述升降结构包括升降器和第二支架，所述升降器固定在所述底座上，且所述第二支架安装在所述升降器远离所述底板的一侧上，所述升降器通过所述第二支架带动支撑台面沿所述底柱的轴向上下移动，所述第二支架位于所述支撑台面朝向所述底板的一侧上。

进一步的，所述第二支架具有连接杆和支撑平台，所述连接杆的一端连接在所述升降器上，另一端连接所述支撑平台，所述升降结构通过所述支撑平台支撑所述支撑台面。

进一步的，所述升降器全自动液压升降装置、全自动气压升降装置、手动液压升降装置或手动气压升降装置。

进一步的，在所述升降结构带动所述支撑结构下降到最低位置时，所述设备更换辅助装置的总高度小于27cm。

可选的，所述设备为物理气相沉积设备的冷泵。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：