[实用新型]一种设备更换辅助装置

权利要求书

1.一种设备更换辅助装置，其特征在于，包括支撑结构和升降结构，所述升降结构安装在所述支撑结构中，所述升降结构带动所述支撑结构上升或下降，设备置于所述支撑结构上。

2.如权利要求1所述的设备更换辅助装置，其特征在于，所述支撑结构包括底座和第一支架，所述第一支架安装在所述底座上，所述升降结构位于所述底座上，且支撑所述第一支架，所述第一支架支撑设备，所述底座支撑和固定所述第一支架及升降结构。

3.如权利要求2所述的设备更换辅助装置，其特征在于，所述底座包括底板和多个底柱，所述多个底柱平行设置，且均安装在所述底板的同一侧。

4.如权利要求3所述的设备更换辅助装置，其特征在于，所述第一支架包括支柱和支撑台面，所述支柱的一端套设在所述底柱的外侧且沿所述底柱的轴向上下移动，所述支柱的另一端安装所述支撑台面。

5.如权利要求4所述的设备更换辅助装置，其特征在于，所述支柱的数量与所述底柱的数量相同，且每个所述支柱套设在一个所述底柱上。

6.如权利要求5所述的设备更换辅助装置，其特征在于，所述设备的底部的外表面为弧形，所述支撑台面朝向所述底板的方向凹陷，所述凹陷与设备的底部的外表面相互匹配。

7.如权利要求4所述的设备更换辅助装置，其特征在于，所述升降结构包括升降器和第二支架，所述升降器固定在所述底座上，且所述第二支架安装在所述升降器远离所述底板的一侧上，所述升降器通过所述第二支架带动支撑台面沿所述底柱的轴向上下移动，所述第二支架位于所述支撑台面朝向所述底板的一侧上。

8.如权利要求7所述的设备更换辅助装置，其特征在于，所述第二支架具有连接杆和支撑平台，所述连接杆的一端连接在所述升降器上，另一端连接所述支撑平台，所述升降结构通过所述支撑平台支撑所述支撑台面。

9.如权利要求7所述的设备更换辅助装置，其特征在于，所述升降器全自动液压升降装置、全自动气压升降装置、手动液压升降装置或手动气压升降装置。

10.如权利要求9所述的设备更换辅助装置，其特征在于，在所述升降结构带动所述支撑结构下降到最低位置时，所述设备更换辅助装置的总高度小于27cm。

11.如权利要求1所述的设备更换辅助装置，其特征在于，所述设备为物理气相沉积设备的冷泵。