[实用新型]一种单晶硅片研磨用注沙系统

说明书

本实用新型提供了一种单晶硅片研磨用注沙系统，涉及单晶硅片加工技术领域。该一种单晶硅片研磨用注沙系统包括储沙桶、注沙器和固定架，抽沙泵的进口端与储沙桶连接，抽沙泵的出口端与注沙器连接，抽沙泵安装在固定架上，注沙器包括注沙箱和注沙盘，注沙箱上设有多个注沙软管一，注沙软管的出沙口设置在注沙盘的凹槽内，注沙盘的底部开设有多个注沙孔，注沙孔与研磨盘的入沙口连接，抽沙泵为可调节压力的卧式抽沙泵。本实用新型结构简单，操作方便，能够为单晶硅片研磨提供稳定的研磨沙，降低其报废率。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅片加工技术领域，具体涉及一种单晶硅片研磨用注沙系统。

背景技术

单晶硅片是硅的单晶体，一种具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，纯度要求达到99.9999%，甚至达到99.9999999%以上。单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势，近三十年来，太阳能利用技术在研究开发、商业化生产、市场开拓方面都获得了长足发展，成为世界快速、稳定发展的新兴产业之一。

在单晶硅片的生产加工过程中，需要将其研磨至需要的厚度，如专利号CN201821942191.3公开了一种超精密高效硅片双面研磨加工设备，包括机壳和研磨盘，研磨盘固定连接在机壳表面，研磨盘一侧设有电动液压杆和吸尘罩，机壳内侧壁通过滑轨滑扣连接集尘箱，且集尘箱侧壁焊接拉手，集尘箱内部分别设有抽风机、活性炭过滤网和水液，机壳内部底端分别设有细沙层和陶瓷硅胶板，机壳内侧壁转动连接散热扇，且机壳表面粘接有凸点胶垫，结构简单，便于操作且使用效果好，通过设有吸尘罩和集尘箱，便于在生产过程中定向吸除研磨粉尘，更加环保，通过电动液压杆推动吸尘罩，自动清洁研磨盘表面残留的粉尘，省时省力，适合被广泛推广和使用，但是往往在对单晶硅片进行研磨时，注沙的压力以及注沙量极为关键，否则易使得脆弱的单晶硅片碎裂，碎片在研磨盘内易导致相邻的多个单晶硅片也发生碎裂，最终使得整个研磨盘内的单晶硅片均报废，对企业的生产影响较大。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种单晶硅片研磨用注沙系统，通过可调节压力的卧式抽沙泵能够适用于不同的单晶硅片厚度需求，为其提供合适的注沙压力，储沙桶内的搅拌轴带动搅拌叶片将研磨沙搅拌均匀，注沙软管的出沙口设置在注沙盘的凹槽内，但并不与注沙盘接触，防止注沙盘随研磨盘转动时使得注沙软管一缠绕在一起，影响注沙的顺畅度，使得单晶硅片损坏。本实用新型提供的诸多技术方案中的优选技术方案所能产生的诸多技术效果详见下文阐述。

为了达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种单晶硅片研磨用注沙系统，包括储沙桶、注沙器和固定架，其中：

所述储沙桶和注沙器之间设有抽沙泵，

所述抽沙泵的进口端与储沙桶连接，

所述抽沙泵的出口端与注沙器连接，

所述抽沙泵安装在固定架上，

所述注沙器包括注沙箱和注沙盘，

所述注沙箱上设有多个注沙软管一，

所述注沙软管一的出沙口设置在注沙盘的凹槽内，

所述注沙盘的底部开设有多个注沙孔，

所述注沙孔通过注沙软管二与研磨盘的入沙口连接，

所述抽沙泵为可调节压力的卧式抽沙泵。

可选或优选的，所述储沙桶上安装有搅拌电机，

所述搅拌电机的输出轴上连接有搅拌轴。

可选或优选的，所述搅拌轴上安装有多个搅拌叶片。