[实用新型]一种单晶硅片研磨用注沙系统有效
| 申请号： | 202120712424.6 | 申请日： | 2021-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN214560069U | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 傅昭林;张超;赵富军 | 申请（专利权）人： | 成都青洋电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/04 | 分类号： | B24B57/04 |
| 代理公司： | 成都金英专利代理事务所(普通合伙) 51218 | 代理人： | 詹权松 |
| 地址： | 611200 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 研磨 用注沙 系统 | ||
1.一种单晶硅片研磨用注沙系统，包括储沙桶（1）、注沙器（2）和固定架（3），其特征在于：
所述储沙桶（1）和注沙器（2）之间设有抽沙泵（4），
所述抽沙泵（4）的进口端与储沙桶（1）连接，
所述抽沙泵（4）的出口端与注沙器（2）连接，
所述抽沙泵（4）安装在固定架（3）上，
所述注沙器（2）包括注沙箱（201）和注沙盘（202），
所述注沙箱（201）上设有多个注沙软管一（203），
所述注沙软管一（203）的出沙口设置在注沙盘（202）的凹槽内，
所述注沙盘（202）的底部开设有多个注沙孔（204），
所述注沙孔（204）通过注沙软管二（206）与研磨盘（205）的入沙口连接，
所述抽沙泵（4）为可调节压力的卧式抽沙泵。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片研磨用注沙系统，其特征在于：所述储沙桶（1）上安装有搅拌电机（101），所述搅拌电机（101）的输出轴上连接有搅拌轴（102）。
3.根据权利要求2所述的一种单晶硅片研磨用注沙系统，其特征在于：所述搅拌轴（102）上安装有多个搅拌叶片（103）。
4.根据权利要求3所述的一种单晶硅片研磨用注沙系统，其特征在于：每个所述搅拌叶片（103）上均设有多个圆孔（104）。
5.根据权利要求1所述的一种单晶硅片研磨用注沙系统，其特征在于：所述抽沙泵（4）通过螺栓安装在固定架（3）上。
6.根据权利要求1所述的一种单晶硅片研磨用注沙系统，其特征在于：所述抽沙泵（4）上还设有显示送沙压力的压力显示屏（401）。
7.根据权利要求1所述的一种单晶硅片研磨用注沙系统，其特征在于：所述储沙桶（1）内存储有用于研磨单晶硅片的研磨沙。
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