[实用新型]一种氮化钽覆膜钢材料的制备装置有效
| 申请号： | 202120685290.3 | 申请日： | 2021-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN214881901U | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 蔡志隆;刘崇志 | 申请（专利权）人： | 泰杋科技股份有限公司;北京利宝生科技有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/00 | 分类号： | C25D17/00;C25D3/54;C25D5/48;C25D21/02;C25D21/18;C25D9/02 |
| 代理公司： | 厦门市新华专利商标代理有限公司 35203 | 代理人： | 罗恒兰 |
| 地址： | 中国台湾新竹县竹*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 钽覆膜 钢材 制备 装置 | ||
1.一种氮化钽覆膜钢材料的制备装置，其特征在于：包括反应室、感应加热系统、集液槽以及抽气注气系统；
所述反应室包括反应槽、盖盘、第一盖帽和第二盖帽，所述反应槽由绝缘材料制成；所述盖盘盖住反应槽并密封连接，盖盘上设有一大圆孔；所述第一盖帽和第二盖帽不同时使用，第一盖帽和第二盖帽均可与所述大圆孔密封连接；
所述第一盖帽上设有阳极联接头和钽电极，阳极联接头与钽电极连接，且钽电极可伸入到所述反应槽中；所述盖盘或反应槽上设有可连通反应槽内部的阴极联接头；
所述第二盖帽上设有气管，所述气管通过冷凝管连通集液槽或管道连通抽气注气系统；
所述感应加热系统围绕所述反应槽的外周设置。
2.根据权利要求1所述的一种氮化钽覆膜钢材料的制备装置，其特征在于：所述反应槽的槽口位置设有金属法兰，所述金属法兰的外沿设有若干第一螺栓孔，所述盖盘的相对位置上设有与第一螺栓孔匹配的第二螺栓孔。
3.根据权利要求2所述的一种氮化钽覆膜钢材料的制备装置，其特征在于：所述金属法兰的内沿设有一圈第一沟槽，所述第一沟槽内设有第一绝缘密封环。
4.根据权利要求2所述的一种氮化钽覆膜钢材料的制备装置，其特征在于：所述阴极联接头设置在金属法兰的外侧。
5.根据权利要求1所述的一种氮化钽覆膜钢材料的制备装置，其特征在于：所述大圆孔的外周设有一圈第二沟槽，所述第二沟槽内设有若干第一螺纹孔，所述第一盖帽和第二盖帽的相对位置上均设有与第一螺纹孔相对应的第三螺栓孔；所述第二沟槽内还设有第二绝缘密封环。
6.根据权利要求1所述的一种氮化钽覆膜钢材料的制备装置，其特征在于：还包括设置在所述反应槽外部的红外测温装置。
7.根据权利要求1所述的一种氮化钽覆膜钢材料的制备装置，其特征在于：所述盖盘上设有防爆泄气阀。
8.根据权利要求1所述的一种氮化钽覆膜钢材料的制备装置，其特征在于：所述反应槽的槽底设有若干石英托。
9.根据权利要求1所述的一种氮化钽覆膜钢材料的制备装置，其特征在于：所述反应槽由石英玻璃制成。
10.根据权利要求1所述的一种氮化钽覆膜钢材料的制备装置，其特征在于：所述反应槽内设有若干用于连通钢材料和阴极联接头的金属导线。
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