[实用新型]一种可精确控制厚度的软膜复制设备

说明书

本实用新型公开了一种可精确控制厚度的软膜复制设备，包括工作台，工作台的中心处固定装配有基板托盘，基板托盘的表面吸附固定有硅片，基板托盘的底部固定安装有加热板，工作台的顶部通过调节机构装配有盖板，盖板的中心处开设有装配槽。通过基板托盘对硅片进行吸附固定，通过盖板对工作模板进行吸附固定，可以通过加热板对基板托盘的加热，使其完成对工作模板的复制操作，通过本装置不仅可以使对工作模板的复制更加简单、方便，而且通过呈三角形设置的调节机构可以保证盖板下降过程的稳定，使其涂抹在硅片表面的复刻滴胶更加均匀的分布在硅片与工作模板之间。

技术领域

本实用新型涉及复刻设备技术领域，具体为一种可精确控制厚度的软膜复制设备。

背景技术

纳米压印技术是一种新型的微纳加工技术，通过纳米压印胶，将模板上的微纳结构转移到待加工基片上。通常使用电子束刻蚀等手段，在硅或其他衬底上加工出所需要的结构作为纳米压印模板，再以此模板进行纳米压印。模板制作制作周期较长并且制作成本昂贵，因此，为防止使用过程中模板过早的损坏，在实际生产过程中，首先需要将硅片或其他硬模板上的结构复制到工作模板上，使用用工作模板进行纳米压印生产，以提高模板使用寿命。而现有的复制设备在使用的过程中大多操作复杂，为此，我们提出一种可精确控制厚度的软膜复制设备。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种可精确控制厚度的软膜复制设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种可精确控制厚度的软膜复制设备，包括工作台，所述工作台的中心处固定装配有基板托盘，所述基板托盘的表面吸附固定有硅片，所述基板托盘的底部固定安装有加热板，所述工作台的顶部通过调节机构装配有盖板，所述盖板的中心处开设有装配槽，所述装配槽内固定装配有玻璃板，所述盖板的底部吸附固定有工作模板。

优选的，所述基板托盘的表面均匀开设有第一真空吸附槽，所述第一真空吸附槽与第一连接槽相连通，所述工作台的内腔固定安装有真空泵，所述真空泵的输出端通过连接管与第一连接槽相连接。

优选的，所述盖板的底部位于装配槽的外侧壁开设有第二真空吸附槽，所述第二真空吸附槽与第二连接槽相连通。

优选的，所述调节机构包括与盖板相螺接的调节螺杆，所述调节螺杆的底部插接至工作台内，所述调节螺杆的顶部固定安装有把手块，所述调节螺杆的数量为三个，三个所述调节螺杆呈三角形分布。

优选的，所述调节螺杆的底部插接于转动架内，所述转动架转动连接于工作台内，所述转动架的中心处开设有插槽，所述转动架的内腔装配有贯穿至插槽内的卡块，所述卡块与卡槽相卡接，所述卡槽开设在调节螺杆的底部，所述卡块与转动架的内腔之间固定安装有弹簧。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：一种可精确控制厚度的软膜复制设备，设置有基板托盘，通过基板托盘对硅片进行吸附固定，通过盖板对工作模板进行吸附固定，通过调节机构可以稳定的控制盖板向下移动，从而完成硅片与工作模板相贴合后，可以通过加热板对基板托盘的加热，使其完成对工作模板的复制操作，通过本装置不仅可以使对工作模板的复制更加简单、方便，而且通过呈三角形设置的调节机构可以保证盖板下降过程的稳定，使其涂抹在硅片表面的复刻滴胶更加均匀的分布在硅片与工作模板之间。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为图1中的a处细节图。

图3为本实用新型的俯视图。

图中：1、工作台，2、基板托盘，3、硅片，4、加热板，5、调节机构，51、调节螺杆，52、把手块，6、盖板，7、装配槽，8、玻璃板，9、工作模板，10、第一真空吸附槽，11、第一连接槽，12、真空泵，13、第二真空吸附槽，14、第二连接槽，15、转动架，16、插槽，17、卡块，18、卡槽，19、弹簧。

具体实施方式