[实用新型]一种可精确控制厚度的软膜复制设备有效
| 申请号： | 202120671217.0 | 申请日： | 2021-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN214311287U | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 冀然 | 申请（专利权）人： | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 山东重诺律师事务所 37228 | 代理人： | 王鹏里 |
| 地址： | 266109 山东省青岛市城阳区城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 精确 控制 厚度 复制 设备 | ||
1.一种可精确控制厚度的软膜复制设备，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)的中心处固定装配有基板托盘(2)，所述基板托盘(2)的表面吸附固定有硅片(3)，所述基板托盘(2)的底部固定安装有加热板(4)，所述工作台(1)的顶部通过调节机构(5)装配有盖板(6)，所述盖板(6)的中心处开设有装配槽(7)，所述装配槽(7)内固定装配有玻璃板(8)，所述盖板(6)的底部吸附固定有工作模板(9)。
2.根据权利要求1所述的一种可精确控制厚度的软膜复制设备，其特征在于：所述基板托盘(2)的表面均匀开设有第一真空吸附槽(10)，所述第一真空吸附槽(10)与第一连接槽(11)相连通，所述工作台(1)的内腔固定安装有真空泵(12)，所述真空泵(12)的输出端通过连接管与第一连接槽(11)相连接。
3.根据权利要求1所述的一种可精确控制厚度的软膜复制设备，其特征在于：所述盖板(6)的底部位于装配槽(7)的外侧壁开设有第二真空吸附槽(13)，所述第二真空吸附槽(13)与第二连接槽(14)相连通。
4.根据权利要求1所述的一种可精确控制厚度的软膜复制设备，其特征在于：所述调节机构(5)包括与盖板(6)相螺接的调节螺杆(51)，所述调节螺杆(51)的底部插接至工作台(1)内，所述调节螺杆(51)的顶部固定安装有把手块(52)，所述调节螺杆(51)的数量为三个，三个所述调节螺杆(51)呈三角形分布。
5.根据权利要求4所述的一种可精确控制厚度的软膜复制设备，其特征在于：所述调节螺杆(51)的底部插接于转动架(15)内，所述转动架(15)转动连接于工作台(1)内，所述转动架(15)的中心处开设有插槽(16)，所述转动架(15)的内腔装配有贯穿至插槽(16)内的卡块(17)，所述卡块(17)与卡槽(18)相卡接，所述卡槽(18)开设在调节螺杆(51)的底部，所述卡块(17)与转动架(15)的内腔之间固定安装有弹簧(19)。
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