[实用新型]一种新型快速冷却腔室结构有效

专利信息
申请号: 202120643048.X 申请日: 2021-03-30
公开(公告)号: CN214470127U 公开(公告)日: 2021-10-22
发明(设计)人: 刘洋;姜洪斌;李强 申请(专利权)人: 青岛精诚华旗微电子设备有限公司
主分类号: F27D15/02 分类号: F27D15/02;F27D21/00;F25D17/02;F25D17/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 266000 山东*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 新型 快速 冷却 结构
【说明书】:

实用新型提供一种新型快速冷却腔室结构,包括冷却腔体、腔门、料架、支撑管、冷却风机、热交换器、分水器、出水管以及冷却水温度流量传感器,冷却腔体前端面安装有腔门,托盘法兰顶部安装有支撑管,冷却腔体左侧安装有冷却回风道,冷却回风道中部设置有热交换器,冷却风机腔内部安装有冷却风机,冷却腔体右侧底部安装有分水器,冷却水温度流量传感器另一端连接有冷却水管,该设计解决了原有产品材料在高温处理后冷却速度较慢,从而导致产品性能不合格的问题,本实用新型结构合理,冷却效果好,提高了产品烧结合格率,实用性强。

技术领域

本实用新型是一种新型快速冷却腔室结构,属于高温高真空烧结、退火、合金、扩散等工艺设备的快速冷却技术领域。

背景技术

真空热处理设备适用于磁性材料、超导材料、合金材料等的真空烧结、退火合金、扩散等工艺。工艺过程是在高温状态下进行的,材料在高温腔室处理后进入冷却腔室进行冷却。目前同类设备中,产品材料高温处理后送入冷却腔进行冷却,冷却速度较慢,产品经常会因为温度冷却太慢,导致产品性能不合格,严重影响了产品的合格率,现在急需一种新型快速冷却腔室结构来解决上述出现的问题。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足,本实用新型目的是提供一种新型快速冷却腔室结构,以解决上述背景技术中提出的问题,本实用新型结构合理,冷却效果好,提高了产品烧结合格率,实用性强。

为了实现上述目的,本实用新型是通过如下的技术方案来实现:一种新型快速冷却腔室结构,包括冷却腔体、腔门、料架、支撑管、冷却风机、热交换器、分水器、出水管以及冷却水温度流量传感器,所述冷却腔体前端面安装有腔门,所述腔门内部安装有腔门水套,所述冷却腔体内后部设置有升降系统,所述升降系统前方安装有托盘法兰,所述托盘法兰顶部安装有支撑管,所述支撑管上部安装有料架,所述冷却腔体左侧安装有冷却回风道,所述冷却回风道中部设置有热交换器,所述冷却回风道后端连接有冷却风机腔,所述冷却风机腔内部安装有冷却风机,所述冷却风机腔右侧安装有冷却出风道,所述冷却出风道连接在冷却腔体右侧,在所述冷却出风道和冷却回风道与冷却腔体连接处分别安装有冷却风导向风道,所述冷却腔体右侧底部安装有分水器,所述出水管上都安装有冷却水温度流量传感器,所述冷却水温度流量传感器另一端连接有冷却水管。

进一步地,所述分水器上端面等规格安装有多路出水管,多路所述出水管上均安装有冷却水温度流量传感器,且冷却水温度流量传感器通过导线与外界温湿度显示器相连接。

进一步地,所述冷却水管另外一端分别与腔门水套、热交换器、风道冷却水套和冷却风机相连接,所述热交换器通过管道与外界冷却循环水相接通。

进一步地,所述冷却出风道和冷却回风道外壁均安装有风道冷却水套。

进一步地,所述冷却风机通过导线与外界控制开关相连接,所述支撑管等规格安装有两组。

进一步地,所述升降系统由电动伸缩杆构成,所述升降系统通过导线与外界控制面板相连接。

有益效果:本实用新型的一种新型快速冷却腔室结构具有以下效果:

1、产品材料高温烧结后进入冷却腔,冷却风机开启后,经过冷却出风道对产品材料直接进行风冷;循环风经过通冷却水的热交换器,热交换器将热量置换并带走,由于腔门、冷却出风道、冷却回风道外壁都安装了冷却水套,经过冷却水循环也能有效的将冷却腔内的热量带走,大大提高了降温速率和产品烧结的合格率。

2、分水器的各循环冷却水路上都安装有水流量温度传感器,能够实时有效的监测冷却水状况,保证了冷却腔的降温效率。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述,本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显:

图1为本实用新型一种新型快速冷却腔室结构的结构示意图;

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