[实用新型]一种新型快速冷却腔室结构有效

专利信息
申请号: 202120643048.X 申请日: 2021-03-30
公开(公告)号: CN214470127U 公开(公告)日: 2021-10-22
发明(设计)人: 刘洋;姜洪斌;李强 申请(专利权)人: 青岛精诚华旗微电子设备有限公司
主分类号: F27D15/02 分类号: F27D15/02;F27D21/00;F25D17/02;F25D17/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 266000 山东*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 新型 快速 冷却 结构
【权利要求书】:

1.一种新型快速冷却腔室结构,其特征在于:包括冷却腔体、腔门、料架、支撑管、冷却风机、热交换器、分水器、出水管以及冷却水温度流量传感器,所述冷却腔体前端面安装有腔门,所述腔门内部安装有腔门水套,所述冷却腔体内后部设置有升降系统,所述升降系统前方安装有托盘法兰,所述托盘法兰顶部安装有支撑管,所述支撑管上部安装有料架,所述冷却腔体左侧安装有冷却回风道,所述冷却回风道中部设置有热交换器,所述冷却回风道后端连接有冷却风机腔,所述冷却风机腔内部安装有冷却风机,所述冷却风机腔右侧安装有冷却出风道,所述冷却出风道连接在冷却腔体右侧,在所述冷却出风道和冷却回风道与冷却腔体连接处分别安装有冷却风导向风道,所述冷却腔体右侧底部安装有分水器,所述出水管上都安装有冷却水温度流量传感器,所述冷却水温度流量传感器另一端连接有冷却水管。

2.根据权利要求1所述的一种新型快速冷却腔室结构,其特征在于:所述分水器上端面等规格安装有多路出水管,多路所述出水管上均安装有冷却水温度流量传感器,且冷却水温度流量传感器通过导线与外界温湿度显示器相连接。

3.根据权利要求1所述的一种新型快速冷却腔室结构,其特征在于:所述冷却水管另外一端分别与腔门水套、热交换器、风道冷却水套和冷却风机相连接,所述热交换器通过管道与外界冷却循环水相接通。

4.根据权利要求1所述的一种新型快速冷却腔室结构,其特征在于:所述冷却出风道和冷却回风道外壁均安装有风道冷却水套。

5.根据权利要求1所述的一种新型快速冷却腔室结构,其特征在于:所述冷却风机通过导线与外界控制开关相连接,所述支撑管等规格安装有两组。

6.根据权利要求1所述的一种新型快速冷却腔室结构,其特征在于:所述升降系统由电动伸缩杆构成,所述升降系统通过导线与外界控制面板相连接。

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