[实用新型]一种吸附式载具

权利要求书

1.一种吸附式载具，其特征在于，包括：

基体，具有承载面；

多个凸点，均匀地分布在所述基体上，且所述凸点凸出承载面；以及

多个吸附孔，均匀地分布在所述基体上，且所述吸附孔贯穿承载面和/或凸点，用于吸附待载工件，以使待载工件与所述凸点相抵。

2.如权利要求1所述的吸附式载具，其特征在于，还包括环状凸缘，所述环状凸缘围绕设置在承载面的边缘，所述凸点和吸附孔均位于环状凸缘所围设的区域内，且所述环状凸缘的高度大于等于凸点的高度。

3.如权利要求2所述的吸附式载具，其特征在于，所述基体为圆形或正多边形，所述环状凸缘与基体的形状相同。

4.如权利要求1所述的吸附式载具，其特征在于，还包括汇流孔和流体腔，所述基体还具有结合面，所述结合面与承载面相对；其中：

所述汇流孔位于基体的中心并贯穿结合面，用以连接负压源；

所述流体腔位于基体内，用于连通所述吸附孔和汇流孔。

5.如权利要求4所述的吸附式载具，其特征在于，所述流体腔包括若干条围绕汇流孔呈放射状分布的径向流道，所述吸附孔沿径向流道的分布轨迹布置，以使每条所述径向流道均对应地连通若干个吸附孔，且所述径向流道邻近汇流孔的一端连通汇流孔。

6.如权利要求5所述的吸附式载具，其特征在于，所述径向流道由基体的边缘直线延伸至基体的中心。

7.如权利要求6所述的吸附式载具，其特征在于，沿所述汇流孔的圆周方向分布的若干个吸附孔呈等间距排列，与同一条所述径向流道相连通的若干个吸附孔呈等间距排列。

8.如权利要求1所述的吸附式载具，其特征在于，所述吸附孔贯穿承载面，且所述吸附孔位于由至少两个相邻的凸点所构成的间隙内。

9.如权利要求1所述的吸附式载具，其特征在于，所述凸点具有用于供待载工件抵靠的接触端，所述接触端为半球状结构。

10.如权利要求1所述的吸附式载具，其特征在于，所述基体为由非金属材料制成的盘状结构。