[实用新型]一种集成电路芯片喷匀胶设备有效
申请号: | 202120620056.2 | 申请日: | 2021-03-26 |
公开(公告)号: | CN214474412U | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
发明(设计)人: | 朱瑞;盈国亮 | 申请(专利权)人: | 硅芯崟科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | G03F7/16 | 分类号: | G03F7/16 |
代理公司: | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人: | 宫建华 |
地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 集成电路 芯片 喷匀胶 设备 | ||
1.一种集成电路芯片喷匀胶设备,包括:设置在设备本体上的若干喷胶组件,其特征在于,
所述设备本体前部设置进出料工位,所述进出料工位一侧设置取放料区域,所述取放料区域设置机械手,所述取放料区域外周设置若干喷胶组件;
所述喷胶组件包括:加热软盘以及设置在所述加热软盘外周的定位运动机构,所述加热软盘通过固定支座安装在安装板上,所述加热软盘上设置若干加热装置,所述加热软盘上方放置晶片;
所述定位运动机构包括:设置在安装底座上的坐标轨道以及拖链,所述坐标轨道和所述拖链分别连接喷头安装架,所述喷头安装架一侧设置活动底板,所述活动底板连接可调标尺,所述可调标尺一端设置喷头固定器,所述喷头固定器上设置超声喷头,所述超声喷头内部设置发生器。
2.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片喷匀胶设备,其特征在于:所述活动底板下表面设置梯形凹槽,所述梯形凹槽与所述可调标尺滑动连接。
3.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片喷匀胶设备,其特征在于:所述拖链连接所述喷头安装架上部,所述坐标轨道滑动连接所述喷头安装架下部。
4.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片喷匀胶设备,其特征在于:所述超声喷头上设置高精度流量控制阀,所述高精度流量控制阀用于控制超声喷头喷胶速度。
5.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片喷匀胶设备,其特征在于:所述加热软盘上方设置支撑柱体,所述支撑柱体上方放置晶片。
6.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片喷匀胶设备,其特征在于:所述加热软盘顶面等角度设置若干贯穿的卡接槽,所述卡接槽内嵌入加热装置。
7.根据权利要求6所述的一种集成电路芯片喷匀胶设备,其特征在于:所述加热装置选择红外线加热器或电加热管中的其中一种,且所述加热装置能够进行独立控制。
8.根据权利要求6所述的一种集成电路芯片喷匀胶设备,其特征在于:所述固定支座表面设置定位槽,所述定位槽与所述卡接槽相互对应配合。
9.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片喷匀胶设备,其特征在于:所述设备本体上还设置对中工位。
10.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片喷匀胶设备,其特征在于:所述喷胶区域两侧设置分别气体供应机构和电气控制机构。
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