[实用新型]一种双导轨固晶摆臂装置有效
申请号: | 202120613842.X | 申请日: | 2021-03-25 |
公开(公告)号: | CN214588758U | 公开(公告)日: | 2021-11-02 |
发明(设计)人: | 洪江 | 申请(专利权)人: | 常州奕瑞自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/683 |
代理公司: | 常州哲专知识产权代理事务所(普通合伙) 32447 | 代理人: | 钱锁方 |
地址: | 213000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 导轨 固晶摆臂 装置 | ||
1.一种双导轨固晶摆臂装置,包括机架以及设置在机架上的转动机构、升降机构和驱动机构,其特征在于:所述驱动机构的输出端与转动机构连接并可驱动转动机构旋转,转动机构底部安装有固晶摆臂,所述升降机构成对设置并与转动机构连接,用于驱动转动机构上下升降,进而带动固晶摆臂升降、旋转。
2.根据权利要求1所述的一种双导轨固晶摆臂装置,其特征在于:所述转动机构包括第一连接件以及设置在第一连接件上的交叉滚子导轨、上银导轨、转动轴和联轴器,所述上银导轨安装在第一连接件顶部,所述交叉滚子导轨安装在上银导轨下方且二者具有距离,所述驱动机构的输出端铜通过联轴器与转动轴连接,所述固晶摆臂与转动轴连接。
3.根据权利要求2所述的一种双导轨固晶摆臂装置,其特征在于:所述升降机构包括驱动电机、偏心轴、直线滑轨、连接板和双轴承,所述驱动电机的输出端通过偏心轴与双轴承顶部一端连接,双轴承的底部一端通过连接板与直线滑轨连接且直线滑轨可驱动连接板上下移动,双轴承与交叉滚子导轨、上银导轨对应设置。
4.根据权利要求3所述的一种双导轨固晶摆臂装置,其特征在于:所述升降机构还包括夹紧件,所述夹紧件安装在连接板的一侧并用于调节交叉滚子导轨、上银导轨之间的夹紧力。
5.根据权利要求3所述的一种双导轨固晶摆臂装置,其特征在于:所述驱动机构为伺服电机或旋转气缸。
6.根据权利要求4所述的一种双导轨固晶摆臂装置,其特征在于:所述双轴承成对设置,包括第一轴承和第二轴承,所述第一轴承设置在连接板底部且第二轴承设置在第一轴承下方,第一轴承与第二轴承之间具有用于夹紧交叉滚子导轨或上银导轨的间隙。
7.根据权利要求6所述的一种双导轨固晶摆臂装置,其特征在于:所述夹紧件为弹簧,所述弹簧的一端与第一轴承连接且其另一端与第二轴承连接。
8.根据权利要求3所述的一种双导轨固晶摆臂装置,其特征在于:所述固晶摆臂包括第一摆臂和第二摆臂,所述转动轴包括第一转轴和第二转轴,所述摆臂与第一转轴连接,所述第二转轴与第二摆臂连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造