[实用新型]一种生长大尺寸氟化钙晶体的嵌套式坩埚有效
申请号: | 202120597872.6 | 申请日: | 2021-03-24 |
公开(公告)号: | CN214458446U | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
发明(设计)人: | 徐悟生;朱逢锐;彭明林;周方;张斌;王财玲;杨春晖 | 申请(专利权)人: | 秦皇岛本征晶体科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/12 | 分类号: | C30B29/12;C30B11/00 |
代理公司: | 烟台上禾知识产权代理事务所(普通合伙) 37234 | 代理人: | 孙俊业 |
地址: | 066000 河北省*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 生长 尺寸 氟化钙 晶体 嵌套 坩埚 | ||
1.一种生长大尺寸氟化钙晶体的嵌套式坩埚,包括一带有盖体的外坩埚,以及设置于外坩埚的坩埚腔内的内坩埚,其特征在于:所述外坩埚在靠近坩埚腔内底面的侧壁上设置有向内凸起的与坩埚腔内底面平行的台阶,所述内坩埚放置在台阶上,内坩埚的外径大于外坩埚台阶处的内径,内坩埚的底部设置有坩埚通孔。
2.根据权利要求1所述的生长大尺寸氟化钙晶体的嵌套式坩埚,其特征是:所述内坩埚的外高与外坩埚的台阶的高度之和等于外坩埚的内高,盖体同时盖住内坩埚和外坩埚。
3.根据权利要求1所述的生长大尺寸氟化钙晶体的嵌套式坩埚,其特征是:所述坩埚通孔设置不少以一个,沿内坩埚底部中心向四周分布。
4.根据权利要求1所述的生长大尺寸氟化钙晶体的嵌套式坩埚,其特征是:所述外坩埚内高度350~400mm,内径250~300mm,台阶高度10~50mm,台阶处内径255~305mm,内坩埚的外高度300~390mm,坩埚通孔直径5~10mm。
5.根据权利要求1所述的生长大尺寸氟化钙晶体的嵌套式坩埚,其特征是:所述外坩埚开口处设置有内螺纹,所述盖体包括不小于外坩埚外径的限位部,以及与外坩埚腔内径相同的固定部,所述固定部上设置有与外坩埚腔内的内螺纹匹配的外螺纹,所述固定部的高度、内坩埚的外高与外坩埚的台阶的高度之和等于外坩埚的内高。
6.根据权利要求1所述的生长大尺寸氟化钙晶体的嵌套式坩埚,其特征是:所述内坩埚数量设置不少于一个。
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