[实用新型]一种用于液晶基板的三自由度位姿调整吸附平台

说明书

本实用新型公开了一种用于液晶基板的三自由度位姿调整吸附平台，涉及到工装治具技术领域，包括支撑平台、位姿调整机构、位姿平台和吸附平台模组，支撑平台的上端设有位姿调整机构，位姿调整机构的上端设有位姿平台，位姿平台的上端并排且间隔设有若干吸附平台模组，位姿调整机构包括旋转支撑组件、X轴驱动组件、第一Y轴驱动组件和第二Y轴驱动组件，若干旋转支撑组件、一X轴驱动组件、一第一Y轴驱动组件和一第二Y轴驱动组件之间呈矩形阵列，且第一Y轴驱动组件与第二Y轴驱动组件之间呈对角关系。本实用新型中的三自由度位姿调整吸附平台，结构紧凑，占用空间小，满足空间受限场合的使用要求。

技术领域

本实用新型涉及到工装治具技术领域，尤其涉及到一种用于液晶基板的三自由度位姿调整吸附平台。

背景技术

位姿调整平台在自动化控制领域中占有重要角色，传统位姿调整平台通常将所需调整控制的各自由度进行独立控制，随之调整平台结构分层化。随着显示技术的发展，液晶基板也趋向于大型化、轻薄化发展，随之液晶基板的加工和检测带来严峻挑战。

上述分层结构位姿调整平台安装较为繁琐，其控制也较为不便。当调整平台趋近大型化时，上述自由度分层控制方法对调整平台结构的稳定性、安装操作的便捷性带来严重挑战，同时设备成本也较为高昂。另一方面，随着液晶基板的大型化，玻璃基板在加工和检测转运过程中通常需要进行位置的二次调整，与此同时，液晶基板需紧密固定于调整平台上，但传统吸附平台与基板接触面积过大而容易产生污染、划伤，吸附力过大而使基板产生局部变形大，从而影响加工和检测质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于液晶基板的三自由度位姿调整吸附平台，用于解决上述技术问题。

本实用新型采用的技术方案如下：

一种用于液晶基板的三自由度位姿调整吸附平台，包括支撑平台、位姿调整机构、位姿平台和吸附平台模组，所述支撑平台的上端设有所述位姿调整机构，所述位姿调整机构的上端设有所述位姿平台，所述位姿平台的上端并排且间隔设有若干所述吸附平台模组，所述位姿调整机构包括旋转支撑组件、X轴驱动组件、第一Y轴驱动组件和第二Y轴驱动组件，若干所述旋转支撑组件、一所述X轴驱动组件、一所述第一Y轴驱动组件和一所述第二Y轴驱动组件之间呈矩形阵列，且所述第一Y轴驱动组件与所述第二Y轴驱动组件之间呈对角关系。

作为优选，所述X轴驱动组件设于所述支撑平台的上端的一侧中部，且所述X轴驱动组件位于所述第二Y轴驱动组件的一侧。

作为优选，所述旋转支撑组件包括第一底板，以及设于所述第一底板上的第一旋转支撑机构。

作为进一步的优选，每一所述X轴驱动组件均包括第一安装底板、X轴驱动机构、X轴驱动连接板、X轴滑轨和第二旋转支撑机构，其中，所述第一安装底板的上端两侧设有两所述X轴滑轨，两所述X轴滑轨平行，且两所述X轴滑轨上设有所述X轴驱动连接板和所述第二旋转支撑机构，且所述第二旋转支撑机构位于所述X轴驱动连接板的一侧，所述第一安装底板的上端还设有所述X轴驱动机构，且所述X轴驱动机构与所述X轴驱动连接板的另一侧连接。

作为进一步的优选，所述第一Y轴驱动组件和所述第二Y轴驱动组件均包括：

第二安装底板；

Y轴驱动机构，所述Y轴驱动机构设于所述第二安装底板的上端；

Y轴驱动连接板，所述Y轴驱动连接板与所述Y轴驱动机构传动连接；

第三旋转支撑机构，所述第三旋转支撑机构设于所述第二安装底板的上端，且所述第三旋转支撑机构与所述Y轴驱动连接板连接。

作为进一步的优选，所述第一旋转支撑机构、所述第二旋转支撑机构和所述第三旋转支撑机构均包括：

交叉轴直线滑轨组件；

过渡板，所述过渡板设于所述交叉轴直线滑轨组件的上端；