[实用新型]一种用于液晶基板的三自由度位姿调整吸附平台

权利要求书

1.一种用于液晶基板的三自由度位姿调整吸附平台，其特征在于，包括支撑平台、位姿调整机构、位姿平台和吸附平台模组，所述支撑平台的上端设有所述位姿调整机构，所述位姿调整机构的上端设有所述位姿平台，所述位姿平台的上端并排且间隔设有若干所述吸附平台模组，所述位姿调整机构包括旋转支撑组件、X轴驱动组件、第一Y轴驱动组件和第二Y轴驱动组件，若干所述旋转支撑组件、一所述X轴驱动组件、一所述第一Y轴驱动组件和一所述第二Y轴驱动组件之间呈矩形阵列，且所述第一Y轴驱动组件与所述第二Y轴驱动组件之间呈对角关系。

2.如权利要求1所述的用于液晶基板的三自由度位姿调整吸附平台，其特征在于，所述X轴驱动组件设于所述支撑平台的上端的一侧中部，且所述X轴驱动组件位于所述第二Y轴驱动组件的一侧。

3.如权利要求1所述的用于液晶基板的三自由度位姿调整吸附平台，其特征在于，所述旋转支撑组件包括第一底板，以及设于所述第一底板上的第一旋转支撑机构。

4.如权利要求3所述的用于液晶基板的三自由度位姿调整吸附平台，其特征在于，每一所述X轴驱动组件均包括第一安装底板、X轴驱动机构、X轴驱动连接板、X轴滑轨和第二旋转支撑机构，其中，所述第一安装底板的上端两侧设有两所述X轴滑轨，两所述X轴滑轨平行，且两所述X轴滑轨上设有所述X轴驱动连接板和所述第二旋转支撑机构，且所述第二旋转支撑机构位于所述X轴驱动连接板的一侧，所述第一安装底板的上端还设有所述X轴驱动机构，且所述X轴驱动机构与所述X轴驱动连接板的另一侧连接。

5.如权利要求4所述的用于液晶基板的三自由度位姿调整吸附平台，其特征在于，所述第一Y轴驱动组件和所述第二Y轴驱动组件均包括：

第二安装底板；

Y轴驱动机构，所述Y轴驱动机构设于所述第二安装底板的上端；

Y轴驱动连接板，所述Y轴驱动连接板与所述Y轴驱动机构传动连接；

第三旋转支撑机构，所述第三旋转支撑机构设于所述第二安装底板的上端，且所述第三旋转支撑机构与所述Y轴驱动连接板连接。

6.如权利要求5所述的用于液晶基板的三自由度位姿调整吸附平台，其特征在于，所述第一旋转支撑机构、所述第二旋转支撑机构和所述第三旋转支撑机构均包括：

交叉轴直线滑轨组件；

过渡板，所述过渡板设于所述交叉轴直线滑轨组件的上端；

定位套，所述定位套设于所述过渡板的上端；

旋转支承，所述旋转支承套设于所述定位套的外缘。

7.如权利要求6所述的用于液晶基板的三自由度位姿调整吸附平台，其特征在于，所述位姿平台设于所述旋转支承的上端，所述位姿平台上开设有若干定位孔，每一所述定位套分别设有一所述定位孔内。

8.如权利要求1所述的用于液晶基板的三自由度位姿调整吸附平台，其特征在于，每一所述吸附平台模组均包括相互连接的两吸附平台机构，且两所述吸附平台机构相互连接，两所述吸附平台机构位于同一水平面内。

9.如权利要求8所述的用于液晶基板的三自由度位姿调整吸附平台，其特征在于，每一所述吸附平台机构均包括：

第二底板，所述第二底板的下端与所述位姿平台的上端连接；

筋板机构，所述第二底板的上端并排且间隔设有若干所述筋板机构；

顶板，所述顶板设于若干所述筋板机构的上端，且所述顶板的上端开设有若干相互连通的浅槽，每一所述浅槽内分别设有若干吸附孔。

10.如权利要求1所述的用于液晶基板的三自由度位姿调整吸附平台，其特征在于，还包括若干平台支脚，所述支撑平台的下端设有若干所述平台支脚。