[实用新型]中介层及包括该中介层的布置装置

权利要求书

1.一种中介层(100)，所述中介层(100)用于布置在具有用于提供真空力的多个主真空通道(104)的真空抽吸装置(102)与要被处理的部件承载件结构(106)之间，其特征在于，所述中介层(100)包括：

中介层板(108)，所述中介层板(108)用于安装在所述真空抽吸装置(102)上并用于承载所述部件承载件结构(106)；以及

次级真空通道(110)的网络(190)，所述次级真空通道(110)的网络(190)形成在所述中介层板(108)的相对两个主表面之间，并且配置为用于将在所述中介层板(108)的底部表面(116)处的由所述真空抽吸装置(102)的所述主真空通道(104)提供的所述真空力在空间上重新定向为在所述中介层板(108)的顶部表面(118)处的经重新定向的真空力模式。

2.根据权利要求1所述的中介层(100)，其特征在于，所述次级真空通道(110)的网络(190)为次级真空通道(110)的分叉网络。

3.根据权利要求1或2所述的中介层(100)，其特征在于，所述次级真空通道(110)的网络(190)包括至少一个真空收集腔。

4.根据权利要求3所述的中介层(100)，其特征在于，所述至少一个真空收集腔形成为至少一个槽(112)。

5.根据权利要求3所述的中介层(100)，其特征在于，所述至少一个真空收集腔形成在所述中介层板(108)中。

6.根据权利要求3所述的中介层(100)，其特征在于，所述次级真空通道(110)的网络(190)包括延伸通过所述中介层板(108)的至少一个通孔(114)。

7.根据权利要求6所述的中介层(100)，其特征在于，所述至少一个真空收集腔与所述至少一个通孔(114)气体连通。

8.根据权利要求1或2所述的中介层(100)，其特征在于，所述次级真空通道(110)的网络(190)被配置用于：将所述底部表面(116)与所述顶部表面(118)之间的所述真空力重新分配，以用于在处理期间保持所述部件承载件结构(106)。

9.根据权利要求1或2所述的中介层(100)，其特征在于，所述中介层(100)包括以下特征中的至少一者：

其中，所述中介层板(108)由完全固化的树脂或塑料构成；

其中，所述中介层板(108)包括金属层(120)；

其中，所述中介层(100)被构造为图案化的部件承载件结构。

10.根据权利要求1或2所述的中介层(100)，其特征在于，所述中介层(100)包括以下特征中的至少一者：

其中，所述中介层板(108)是由具有抗静电性质的材料制成的；

其中，所述中介层板(108)是由能够通过所述真空力而变形的弹性材料制成的。

11.根据权利要求1或2所述的中介层(100)，其特征在于，所述中介层板(108)的要被安装有所述部件承载件结构(106)的所述顶部表面(118)具有相比于另一表面区域降低的粗糙度。

12.根据权利要求1或2所述的中介层(100)，其特征在于，所述中介层板(108)具有在从0.5毫米至10毫米的范围内的厚度(d)。

13.根据权利要求1或2所述的中介层(100)，其特征在于，所述中介层板(108)包括在所述中介层板的顶部表面(118)处的至少一个残留材料收集腔，所述至少一个残留材料收集腔与所述次级真空通道(110)的网络(190)是断开联接的并且适于容纳在所述部件承载件结构(106)的处理期间产生的残留材料。