[实用新型]电镀挂具和电镀装置

权利要求书

1.一种电镀挂具，其特征在于，包括：

下载板，所述下载板上设有用于放置晶圆的晶圆槽；

固定结构，用于将所述晶圆固定在所述晶圆槽内，用于使所述晶圆的背面密封，且使所述晶圆的正面外露；

导电结构，设置在所述晶圆槽的底部，用于与所述晶圆的背面相贴；

阴极接口，固定在所述下载板上，与所述导电结构电连接；以及

突出部，设置在所述晶圆槽的外侧，与所述下载板或固定结构连接，且朝所述晶圆的电镀面方向突出于所述下载板和固定结构。

2.如权利要求1所述的电镀挂具，其特征在于，所述突出部设置在所述下载板上，与所述下载板侧边的边缘相贴。

3.如权利要求2所述的电镀挂具，其特征在于，所述突出部设置在所述下载板的两侧，且所述突出部在所述下载板的中轴线方向对称分布。

4.如权利要求3所述的电镀挂具，其特征在于，所述下载板的一侧设有一个所述突出部，所述突出部的长度与所述下载板的侧边长度相等。

5.如权利要求4所述的电镀挂具，其特征在于，所述下载板的每一侧都包括第一斜边、第二斜边和直边，所述直边的两端分别与所述第一斜边和第二斜边的一端连接，所述第一斜边朝所述阴极接口的方向延伸，所述第二斜边朝背离所述阴极接口的方向延伸；

所述突出部的长度与所述直边的长度相等。

6.如权利要求3所述的电镀挂具，其特征在于，所述下载板的一侧设有多个所述突出部，相邻所述突出部之间的间距相等。

7.如权利要求1所述的电镀挂具，其特征在于，所述突出部的截面为三角形，所述三角形的底部与所述下载板的表面相贴。

8.如权利要求1-7任意一项所述的电镀挂具，其特征在于，所述下载板包括第一晶圆槽和第二晶圆槽，所述第一晶圆槽设置在所述下载板的正面，所述第二晶圆槽设置在所述下载板的背面；

所述固定结构包括第一上盖和第二上盖，所述第一上盖将晶圆固定在所述第一晶圆槽中，所述第二上盖将晶圆固定在所述第二晶圆槽中；

所述导电结构包括第一导电环和第二导电环，所述第一导电环设置在所述第一晶圆槽的底部，与所述第一晶圆槽中晶圆的背面相贴；所述第二导电环设置在所述第二晶圆槽的底部，与所述第二晶圆槽中晶圆的背面相贴；所述第一导电环、所述第二导电环都与所述阴极接口电连接；

所述突出部包括第一突出部和第二突出部，所述第一突出部设置在所述下载板的正面，所述第二突出部设置在所述下载板的背面。

9.如权利要求8所述的电镀挂具，其特征在于，所述第一突出部与所述第二突出部相互对称。

10.一种电镀装置，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的电镀挂具。