[实用新型]一种超高真空传样抓手

说明书

本实用新型公开一种超高真空传样抓手，包括固定座，与操作杆连接，能够绕所述操作杆的驱动轴转动；偏心轮，其偏心环固定连接于固定座；连接环，包括套接于所述偏心轮的偏心环上的第一通孔；壳体，套接于偏心轮外部；抓取模块，包括设置于壳体末端的抓取基座，以及与壳体可转动地连接的驱动杆，驱动杆的一端与连接环的顶部连接，另一端设置有钩部，钩部与抓取基座配合实现物品抓取。

技术领域

本实用新型涉及真空设备技术领域，特别涉及一种超高真空传样抓手。

背景技术

真空技术已普遍应用于半导体领域，为了保证样品从生长到测试的整个过程都在超高真空下完成，通常会在生长、测试等不同功能的超高真空系统之间搭建真空互联系统，实现样品在任意腔室之间的互联互通，样品的取放通常通过磁力杆来完成。

为了留出足够的操作空间，通常所述直线互联传输机构的腔室和各真空系统的腔室距离比较远，大多数情况下都接近一米，这就使得当需要向真空系统的腔室内的样品台基座上放入样品，或者从样品台基座上取出样品的时候，操作的人员和样品台位于直线互联传输机构的两侧，且距离很远，难以进行观察，所以一个人无法独立完成样品传送操作，需要一个人在磁力杆一侧操作磁力杆，另一个人在子系统腔室一侧观察指挥，确保位置对准以后才能进行传样，整个过程耗时很久，样品传送操作很不方便。针对这一问题，目前已有部分真空传输系统通过引入传输基座，以放置样品托，使得磁力杆不再直接抓取样品托传入子系统腔室。其中，所述传输基座如图1所示，所述传输基座的侧壁内部具有相对应的板槽，所述样品托能够插入所述板槽，进而放置于所述传输基座上，同时，所述传输基座的侧壁外部安装有把手001，所述把手001的中部具有凹槽011，以及所述传输基座的底部设置有通孔002。可以看出，所述传输基座与样品托结构不同，这就使得现有的磁力杆上配置的机械抓手不再适用。

实用新型内容

针对现有技术中的部分或全部问题，本实用新型提供一种超高真空传样抓手，包括：

固定座，与操作杆连接，能够绕所述操作杆的驱动轴转动；

偏心轮，其偏心环固定连接于所述固定座；

连接环，包括第一通孔，所述第一通孔套接于所述偏心轮的偏心环上；

壳体，其套接于所述偏心轮外部，使得所述偏心轮可在壳体内部转动；

抓取模块，包括：

抓取基座，其设置于所述壳体的末端；以及

驱动杆，其与所述壳体可转动地连接，且所述驱动杆的一端与所述连接环的顶部连接，另一端设置有钩部，所述钩部与所述抓取基座配合实现物品抓取。

进一步地，所述偏心轮与壳体之间设置有润滑结构。

进一步地，所述抓取基座的第一表面设置有第三凹槽，所述第三凹槽用于限制待抓取物品的底部。

进一步地，所述驱动杆通过连接轴与所述连接环的顶部连接。

进一步地，所述驱动杆用过转轴与所述壳体可转动地连接。

进一步地，所述超高真空传样抓手还包括限位模块，包括：

限位轴承，其固定安装于所述壳体上；以及

限位环，其连接于所述偏心轮远离偏心环的一端，包括第一凹槽及第二凹槽，其中，所述第一凹槽在偏心轮转动至最高状态时，能够与所述限位轴承配合，以及所述第二凹槽在偏心轮转动至最低状态时，能够与所述限位轴承配合。

进一步地，所述超高真空传样抓手还包括导向块，其设置于所述抓取基座的底部，适配于待抓取物品放置平台的导向孔。

进一步地，所述超高真空传样抓手还包括支撑杆，其设置于所述抓取基座上，且适配于待抓取物品上的通孔，用于支撑待抓取物品。