[实用新型]一种气浮垂向运动装置

说明书

本实用新型提供了一种气浮垂向运动装置，包括托盘、电机、气浮轴以及套设于气浮轴的气浮套，气浮轴连接于托盘，气浮轴与气浮套形成气浮导轨，电机设置于气浮轴内，电机的输出端连接于气浮轴，电机驱动气浮轴带动托盘沿气浮导轨的轴线方向移动。气浮轴的外壁与气浮套的内壁之间的间隙配合形成一层稳定的气膜，从而形成了气浮导轨，气浮导轨对气浮轴垂向运动起到导向作用。本实用新型的电机设置在气浮轴内，结构紧凑，减小了整个装置的结构，减小了装置占用空间的大小。再将电机的输出端连接于气浮轴，通过电机驱动气浮轴使气浮轴和托盘沿气浮导轨的轴线方向移动。

技术领域

本实用新型涉及集成电路装备制造领域，尤其涉及一种气浮垂向运动装置。

背景技术

近年来，随着大规模集成电路器件集成度不断提高，集成电路加工工件台的精度和产率需求不断提高，垂向运动装置的运行速度、加速度、性能的要求也不断地提高。垂向运动装置主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及元器件的质量测试等，因此，对于结构紧凑，且性能更高的垂向运动装置的需求非常迫切。现有的垂向运动装置以旋转电机作为驱动动力，丝杠作为传动部分，导轨作为运动导向，电机通过丝杠带动工件沿导轨垂向运动。现有的垂向运动装置结构复杂，整体结构庞大，丝杠和与丝杠配合的导轨相对运动会产生摩擦，降低了垂向运动装置的精度，而且丝杠和导轨时常需要定期清洁和更换润滑脂，工序繁琐。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种气浮垂向运动装置，减小装置尺寸，减小摩擦。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种气浮垂向运动装置，包括：

托盘、电机、气浮轴以及套设于所述气浮轴的气浮套，所述气浮轴连接于所述托盘，所述气浮轴与所述气浮套形成气浮导轨，所述电机设置于所述气浮轴内，所述电机的输出端连接于所述气浮轴，所述电机驱动所述气浮轴以使所述气浮轴和所述托盘沿所述气浮导轨的轴线方向移动。

作为优选，所述气浮套和所述气浮轴同轴，所述气浮轴的横截面为规则的多边形，所述气浮轴包括多个外壁，所述气浮套包括多个内壁，所述外壁与所述内壁的数量相同，形状相同，且所述外壁与所述内壁一一对应。

作为优选，还包括供气组件和管道组件，所述气浮套的多个所述内壁上均开设有节气孔，多个所述内壁上开设所述节气孔的数量一致，所述管道组件一端连接于所述供气组件，另一端连接于所述节气孔。

作为优选，所述管道组件包括多个横向管道和多个纵向管道，多个所述横向管道和多个所述纵向管道连通并嵌设于所述气浮套，所述纵向管道的出口端连接于所述节气孔。

作为优选，还包括测量机构，所述测量机构为光栅尺，所述光栅尺沿所述气浮轴的轴线方向设置，所述光栅尺用于测量所述气浮轴的垂向位移。

作为优选，还包括若干个重力补偿机构，所述重力补偿机构用于降低所述电机的负载。

作为优选，所述重力补偿机构为弹性件，所述弹性件一端连接于所述气浮套，另一端连接于所述托盘。

作为优选，若干个所述重力补偿机构设置沿所述托盘的周向均匀分布。

作为优选，所述气浮套包括多个面板，多个所述面板相互连接。

作为优选，所述气浮套一体成型。

本实用新型的有益效果：