[实用新型]一种气浮垂向运动装置

权利要求书

1.一种气浮垂向运动装置，其特征在于，包括：

托盘(2)、电机(7)、气浮轴(3)以及套设于所述气浮轴(3)的气浮套(4)，所述气浮轴(3)连接于所述托盘(2)，所述气浮轴(3)与所述气浮套(4)形成气浮导轨，所述电机(7)设置于所述气浮轴(3)内，所述电机(7)的输出端连接于所述气浮轴(3)，所述电机(7)驱动所述气浮轴(3)以使所述气浮轴(3)和所述托盘(2)沿所述气浮导轨的轴线方向移动。

2.根据权利要求1所述的气浮垂向运动装置，其特征在于，所述气浮套(4)和所述气浮轴(3)同轴，所述气浮轴(3)的横截面为规则的多边形，所述气浮轴(3)包括多个外壁，所述气浮套(4)包括多个内壁，所述外壁与所述内壁的数量相同，形状相同，且所述外壁与所述内壁一一对应。

3.根据权利要求2所述的气浮垂向运动装置，其特征在于，还包括供气组件和管道组件(5)，所述气浮套(4)的多个所述内壁上均开设有节气孔(42)，多个所述内壁上开设所述节气孔(42)的数量一致，所述管道组件(5)一端连接于所述供气组件，另一端连接于所述节气孔(42)。

4.根据权利要求3所述的气浮垂向运动装置，其特征在于，所述管道组件(5)包括多个横向管道(51)和多个纵向管道(52)，多个所述横向管道(51)和多个所述纵向管道(52)连通并嵌设于所述气浮套(4)，所述纵向管道(52)的出口端连接于所述节气孔(42)。

5.根据权利要求1所述的气浮垂向运动装置，其特征在于，还包括测量机构，所述测量机构为光栅尺(6)，所述光栅尺(6)沿所述气浮轴(3)的轴线方向设置，所述光栅尺(6)用于测量所述气浮轴(3)的垂向位移。

6.根据权利要求1所述的气浮垂向运动装置，其特征在于，还包括若干个重力补偿机构，所述重力补偿机构用于降低所述电机(7)的负载。

7.根据权利要求6所述的气浮垂向运动装置，其特征在于，所述重力补偿机构为弹性件(8)，所述弹性件(8)一端连接于所述气浮套(4)，另一端连接于所述托盘(2)。

8.根据权利要求6所述的气浮垂向运动装置，其特征在于，若干个所述重力补偿机构设置沿所述托盘(2)的周向均匀分布。

9.根据权利要求1-8任一项所述的气浮垂向运动装置，其特征在于，所述气浮套(4)包括多个面板(41)，多个所述面板(41)相互连接。

10.根据权利要求1-8任一项所述的气浮垂向运动装置，其特征在于，所述气浮套(4)一体成型。