[实用新型]一种用于测量设备的提高准度的定位装置有效
| 申请号： | 202120483923.2 | 申请日： | 2021-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN214407333U | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 付国旺;范水根 | 申请（专利权）人： | 武汉当代华路光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01N21/01;G01N21/958 |
| 代理公司： | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人： | 邓佳 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 测量 设备 提高 定位 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于测量设备的提高准度的定位装置，其特征在于：它包含工作台(1)、XYZ轴传动系统(2)、真空限位载盘(3)、CCD摄像机(4)、总气管(5)、真空泵(6)和L型块(7)；所述工作台(1)的上端设置有XYZ轴传动系统(2)，所述XYZ轴传动系统(2)的上端固定安装有真空限位载盘(3)，所述真空限位载盘(3)的上端与L型块(7)保持卡接连接，所述真空限位载盘(3)的顶端设置有CCD摄像机(4)，所述CCD摄像机(4)与工作台(1)保持固定连接，所述真空限位载盘(3)通过总气管(5)与真空泵(6)保持内部连通。
2.根据权利要求1所述的一种用于测量设备的提高准度的定位装置，其特征在于：所述真空限位载盘(3)的内腔固定设置有数个气槽(31)，所述气槽(31)的外侧通过分气管(32)与总气管(5)保持内部连通，所述分气管(32)上固定安装有控制阀(33)，所述气槽(31)的上端固定设置有数个气孔(34)。
3.根据权利要求1所述的一种用于测量设备的提高准度的定位装置，其特征在于：所述L型块(7)的底部固定设置有与气孔(34)保持相互配合的凸柱(71)。
4.根据权利要求1所述的一种用于测量设备的提高准度的定位装置，其特征在于：所述XYZ轴传动系统(2)和真空限位载盘(3)可通过黏贴或螺栓进行固定。
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