[实用新型]一种晶圆打标装置

说明书

本实用新型涉及激光加工领域，特别涉及一种晶圆打标装置，包括激光器、调节功率组件、功率检测组件、聚焦组件、载物台；所述调节功率组件、聚焦组件、载物台依次设于所述激光器发出的光束路径上；所述功率检测组件设于所述调节功率组件和所述聚焦组件之间；所述调节功率组件包括可转动波片、分光机构，所述波片和所述分光机构依次设于所述激光器发出的光束的路径上。通过设置调节功率组件、功率检测组件，调节功率组件包括波片、分光机构的方式对激光器发出的光束进行功率调节和监控，解决了现有技术不能对出光功率进行调节，也不能监控打标装置的功率是否发生变异的问题,并且根据相应的功率‑标定角度关系表，能对具体功率进行更加精确的调节。

技术领域

本实用新型涉及激光加工领域，特别涉及一种晶圆打标装置。

背景技术

激光打标是利用高能量密度的激光对工件进行局部照射，使表层材料汽化或发生颜色变化的化学反应，从而留下永久性标记的一种打标方法。激光打标的基本原理是，由激光发生器生成高能量的连续激光光束，聚焦后的激光作用于承印材料，使表面材料瞬间熔融，甚至气化，通过控制激光在材料表面的路径，从而形成需要的图文标记。

CN206306643U的专利《一种基于CCD与振镜同轴进行视觉定位的激光打标装置》，公开日为2017.07.07，供了一种基于CCD与振镜同轴进行视觉定位的激光打标装置，包括光源，场镜，所述场镜设置于所述光源的上方；振镜，所述振镜设置于所述场镜的上方；激光器，所述激光器设置于所述振镜的一侧；CCD模组，所述CCD模组设置于所述振镜的另一侧且与所述振镜同轴；所述激光器发射的激光经所述CCD模组、所述振镜、所述场镜照射至所述待打标工件；所述待打标工件反射的光线经所述场镜、所述振镜入射到所述CCD模组；控制器，所述控制器分别与所述激光器、所述CCD模组、所述振镜电性相连。该打标装置的激光器与CCD模组设置于振镜两侧，使其结构简单且占用较小的空间；采用同轴成像提高加工精度，且避免了人工干预定位的繁琐。

然而，在采用上述打标装置时，不能对出光功率进行调节，也不能监控打标装置的功率是否发生变异。

实用新型内容

为解决在采用上述打标装置时，不能对出光功率进行调节，也不能监控打标装置的功率是否发生变异的问题，

本实用新型提供的一种晶圆打标装置，包括激光器、调节功率组件、功率检测组件、聚焦组件、载物台；

所述调节功率组件、聚焦组件、载物台依次设于所述激光器发出的光束路径上；所述功率检测组件设于所述调节功率组件和所述聚焦组件之间；

所述调节功率组件包括可转动波片、分光机构，所述波片和所述分光机构依次设于所述激光器发出的光束的路径上。

进一步的，所述波片为1/2波片，所述分光机构为立方分光晶体。

进一步的，所述波片由驱动件驱动转动；所述驱动件为电机。

进一步的，所述激光器发出的光束经由所述分光机构分光后的垂直偏振光路径上设有挡光机构。

进一步的，所述功率检测组件包括反射镜和功率计，所述反射镜可相对所述激光器发出的光束水平方向上垂直移动，所述反射镜用于将所述激光器发出的光束反射至所述功率计检测。

进一步的，所述反射镜由气缸驱动移动。

进一步的，所述聚焦组件包括振镜和场镜，所述振镜和所述场镜相适配，所述激光器发出的光束依次经过所述振镜和所述场镜。

进一步的，所述载物台为寻边器。

进一步的，所述调节功率组件与所述聚焦组件之间设有扩束镜，所述扩束镜设于所述激光器发出的光束的路径上。

进一步的，所述扩束镜为电动扩束镜，所述电动扩束镜可调节激光光斑尺寸。