[实用新型]一种晶圆打标装置

权利要求书

1.一种晶圆打标装置，其特征在于：包括激光器(10)、调节功率组件(20)、功率检测组件(30)、聚焦组件(40)、载物台(50)；

所述调节功率组件(20)、聚焦组件(40)、载物台(50)依次设于所述激光器(10)发出的光束路径上；所述功率检测组件(30)设于所述调节功率组件(20)和所述聚焦组件(40)之间；

所述调节功率组件(20)包括可转动波片(21)、分光机构(22)，所述波片(21)和所述分光机构(22)依次设于所述激光器(10)发出的光束的路径上。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆打标装置，其特征在于：所述波片(21)为1/2波片，所述分光机构(22)为立方分光晶体。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆打标装置，其特征在于：所述波片(21)由驱动件驱动转动；所述驱动件为电机。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆打标装置，其特征在于：所述激光器(10)发出的光束经由所述分光机构(22)分光后的垂直偏振光路径上设有挡光机构(60)。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆打标装置，其特征在于：所述功率检测组件(30)包括反射镜(31)和功率计(32)，所述反射镜(31)可相对所述激光器(10)发出的光束水平方向上垂直移动，所述反射镜(31)用于将所述激光器(10)发出的光束反射至所述功率计(32)检测。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆打标装置，其特征在于：所述反射镜(31)由气缸驱动移动。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆打标装置，其特征在于：所述聚焦组件(40)包括振镜(41)和场镜(42)，所述振镜(41)和所述场镜(42)相适配，所述激光器(10)发出的光束依次经过所述振镜(41)和所述场镜(42)。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆打标装置，其特征在于：所述载物台(50)为寻边器。

9.根据权利要求1所述的一种晶圆打标装置，其特征在于：所述调节功率组件(20)与所述聚焦组件(40)之间设有扩束镜(70)，所述扩束镜(70)设于所述激光器(10)发出的光束的路径上。

10.根据权利要求9所述的一种晶圆打标装置，其特征在于：所述扩束镜(70)为电动扩束镜，所述电动扩束镜可调节激光光斑尺寸。