[实用新型]一种晶圆覆膜切割机

权利要求书

1.一种晶圆覆膜切割机，其特征在于：包括机架(1)，所述机架(1)上设有供覆膜卷(8)放置的置膜架(6)和供待切割覆膜(81)放置的切割台(5)，所述切割台(5)上方设置有用于切割待切割覆膜(81)的切割组件(3)，所述切割组件(3)包括切割滚轮(32)，所述切割组件(3)与所述机架(1)间设有用于限定切割组件(3)作圆周运动的转动件(4)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆覆膜切割机，其特征在于：所述转动件(4)包括L形的转动杆(41)，所述转动杆(41)包括转动轴(411)和第一连接杆(413)，所述机架(1)上方铰接有机盖(2)，所述转动轴(411)绕转动轴(411)中心轴转动设置于所述机盖(2)中心，所述第一连接杆(413)一端与所述转动轴(411)底端连接，所述第一连接杆(413)远离所述转动轴(411)的一端与所述切割组件(3)相连接。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆覆膜切割机，其特征在于：所述切割组件(3)还包括切割头(31)，所述切割头(31)沿所述第一连接杆(413)的长度方向滑动设置于所述第一连接杆(413)上，所述切割头(31)上螺纹连接有定位螺栓(311)，所述第一连接杆(413)上开设有与所述定位螺栓(311)螺纹配合的第一螺孔(414)和第二螺孔(415)。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆覆膜切割机，其特征在于：所述切割台(5)上设有供待切割覆膜(81)放置的以所述转动轴(411)为圆心的圆凸台(51)，所述圆凸台(51)上开设有以所述转动轴(411)为圆心的第一环形槽(511)和第二环形槽(512)，所述第一环形槽(511)与所述定位螺栓(311)位于第一螺孔(414)时的切割滚轮(32)嵌合配合，所述第二环形槽(512)与所述定位螺栓(311)位于第二螺孔(415)时的切割滚轮(32)嵌合配合。

5.根据权利要求2所述的一种晶圆覆膜切割机，其特征在于：所述切割台(5)上连接有用于承托待切割覆膜(81)的第一条形凸台(52)，所述机盖(2)底面设有与所述第一条形凸台(52)相对应的第二条形凸台(23)。

6.根据权利要求2所述的一种晶圆覆膜切割机，其特征在于：所述转动轴(411)底端还连接有第二连接杆(416)，所述第二连接杆(416)远离所述转动轴(411)的一端连接有用于压紧待切割覆膜(81)的滑动轮(417)。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆覆膜切割机，其特征在于：所述置膜架(6)包括供覆膜卷(8)穿设的覆膜辊(61)，所述覆膜辊(61)穿设于所述机架(1)侧壁，所述机架(1)上还穿设有用于调整待切割覆膜(81)传动轨迹的导辊(63)，所述导辊(63)与所述覆膜辊(61)平行，所述覆膜辊(61)远离与所述机架(1)连接处的一侧设有转动板(62)，所述转动板(62)铰接于所述机架(1)上，所述转动板(62)与所述覆膜辊(61)接触的位置设有供覆膜辊(61)搭设的支撑环(621)。

8.根据权利要求2所述的一种晶圆覆膜切割机，其特征在于：所述机架(1)上所述置膜架(6)与所述切割台(5)间设有用于横向切割待切割覆膜(81)的切刀(7)，所述切刀(7)上连接有安装块(72)，所述安装块(72)上开设有滑移槽(73)，所述滑移槽(73)与所述机盖(2)相嵌合，所述安装块(72)顶面连接有用于拉动所述切刀(7)的拉柄(71)。

9.根据权利要求2所述的一种晶圆覆膜切割机，其特征在于：所述机架(1)与所述机盖(2)间设有伸缩杆(21)，所述伸缩杆(21)包括内杆(213)与外筒(211)，所述外筒(211)铰接于所述机架(1)侧壁，所述内杆(213)铰接于所述机盖(2)侧壁。

10.根据权利要求2所述的一种晶圆覆膜切割机，其特征在于：所述机盖(2)上开设有用于观察待切割覆膜(81)的切割状态的观察口(22)。