[实用新型]化学品混合装置

说明书

本实用新型提供一种化学品混合装置，涉及半导体制程技术领域。化学品混合装置包括混合腔室、加热保温箱、化学瓶和气体输送管，其中，加热保温箱安装在混合腔室上；化学瓶设置在加热保温箱的内部，化学瓶用于盛放化学品；气体输送管设置在加热保温箱的内部，气体输送管的一端与化学瓶连通，气体输送管的另一端与混合腔室连通。该装置不仅可以隔绝大气环境对化学瓶和气体输送管的温度影响，还能够改善温度控制效果，而且，气体输送管的长度可以大大减短，减少了对化学瓶中化学品可能产生影响的不安定因素，也不会因为气体输送管的材质以及使用年限过久对工艺造成影响。

技术领域

本实用新型涉及半导体制程技术领域，具体而言，涉及一种化学品混合装置。

背景技术

半导体进入高阶工艺制程后，镀膜技术的条件越来越严格，并且对温度掌控的要求也越来越高，不管是对加热器的温度，还是化学瓶(ampoule)的化学品或气体的温度，都有着极严格的管控。

目前镀膜过程中使用的化学瓶是安装在腔室外部，化学瓶中的反应物经过升温后，再经过气体输送管(gas line)进入腔室，化学瓶和气体输送管容易受到外在环境的影响，无法精准控制化学瓶和气体输送管的温度，导致反应物会因为温度起伏过大，甚至在气体生产线中进行还原反应而产生大量颗粒，降低良率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种化学品混合装置，其能够隔绝大气环境对化学瓶和气体输送管的温度影响，还能够改善温度控制效果。

本实用新型的实施例是这样实现的：

第一方面，本实用新型提供一种化学品混合装置，应用于半导体制程，化学品混合装置包括：

混合腔室；

加热保温箱，安装在混合腔室上；

化学瓶，设置在加热保温箱的内部，化学瓶用于盛放化学品；

气体输送管，设置在加热保温箱的内部，气体输送管的一端与化学瓶连通，气体输送管的另一端与混合腔室连通。

在可选的实施方式中，加热保温箱安装在混合腔室的顶部。

在可选的实施方式中，气体输送管呈竖直方向延伸，气体输送管的一端连接到化学瓶的底部，气体输送管的另一端连接到混合腔室的顶部。

在可选的实施方式中，加热保温箱安装在混合腔室的一侧。

在可选的实施方式中，气体输送管呈水平方向延伸，气体输送管的一端连接到化学瓶的一侧，气体输送管的另一端连接到混合腔室的一侧。

在可选的实施方式中，加热保温箱包括：

保温箱体，采用保温材料制成；

加热丝，布置在保温箱体的侧壁上；

控制器，与加热丝电连接，控制器用于控制加热丝对保温箱体进行加热。

在可选的实施方式中，加热保温箱还包括：

冷却管，布置在保温箱体的侧壁上；

冷却泵，安装在冷却管上、且与控制器电连接，控制器用于控制冷却泵运作，以使冷却管对保温箱体进行冷却。

在可选的实施方式中，化学品混合装置还包括节流阀和真空泵，混合腔室、节流阀和真空泵依次通过连接管连通。

在可选的实施方式中，化学品混合装置还包括涡轮增压器，涡轮增压器通过连接管与节流阀并联。

在可选的实施方式中，化学品混合装置还包括流量控制泵，流量控制泵安装在气体输送管上，流量控制泵用于控制化学品进入混合腔室的流量。

本实用新型实施例提供的化学品混合装置的有益效果包括：