[实用新型]化学品混合装置

权利要求书

1.一种化学品混合装置，应用于半导体制程，其特征在于，所述化学品混合装置包括：

混合腔室(11)；

加热保温箱(12)，安装在所述混合腔室(11)上；

化学瓶(13)，设置在所述加热保温箱(12)的内部，所述化学瓶(13)用于盛放化学品；

气体输送管(14)，设置在所述加热保温箱(12)的内部，所述气体输送管(14)的一端与所述化学瓶(13)连通，所述气体输送管(14)的另一端与所述混合腔室(11)连通。

2.根据权利要求1所述的化学品混合装置，其特征在于，所述加热保温箱(12)安装在所述混合腔室(11)的顶部。

3.根据权利要求2所述的化学品混合装置，其特征在于，所述气体输送管(14)呈竖直方向延伸，所述气体输送管(14)的一端连接到所述化学瓶(13)的底部，所述气体输送管(14)的另一端连接到所述混合腔室(11)的顶部。

4.根据权利要求1所述的化学品混合装置，其特征在于，所述加热保温箱(12)安装在所述混合腔室(11)的一侧。

5.根据权利要求4所述的化学品混合装置，其特征在于，所述气体输送管(14)呈水平方向延伸，所述气体输送管(14)的一端连接到所述化学瓶(13)的一侧，所述气体输送管(14)的另一端连接到所述混合腔室(11)的一侧。

6.根据权利要求1所述的化学品混合装置，其特征在于，所述加热保温箱(12)包括：

保温箱体，采用保温材料制成；

加热丝，布置在所述保温箱体的侧壁上；

控制器，与所述加热丝电连接，所述控制器用于控制所述加热丝对所述保温箱体进行加热。

7.根据权利要求6所述的化学品混合装置，其特征在于，所述加热保温箱(12)还包括：

冷却管，布置在所述保温箱体的侧壁上；

冷却泵，安装在所述冷却管上、且与所述控制器电连接，所述控制器用于控制所述冷却泵运作，以使所述冷却管对所述保温箱体进行冷却。

8.根据权利要求1所述的化学品混合装置，其特征在于，所述化学品混合装置还包括节流阀(15)和真空泵(16)，所述混合腔室(11)、所述节流阀(15)和所述真空泵(16)依次通过连接管(18)连通。

9.根据权利要求8所述的化学品混合装置，其特征在于，所述化学品混合装置还包括涡轮增压器(17)，所述涡轮增压器(17)通过连接管(18)与所述节流阀(15)并联。

10.根据权利要求1所述的化学品混合装置，其特征在于，所述化学品混合装置还包括流量控制泵，所述流量控制泵安装在所述气体输送管(14)上，所述流量控制泵用于控制所述化学品进入所述混合腔室(11)的流量。