[实用新型]金相研磨机的精密对位研磨机构及其金相研磨机

说明书

本实用新型适用于金相片加工技术领域，提供了一种金相研磨机的精密对位研磨机构，精密对位研磨机构包括：竖直精密运动模组，包括竖直驱动制动电机、竖直运动装置以及测量反馈装置；转角纠偏对位模组，包括转角纠偏对位驱动电机、对位连接装置、转动传动装置以及样品夹持装置；转角纠偏对位驱动电机驱动转动传动装置转动；转动传动装置驱动样品夹持装置夹持金相切片；转角定位精密制动模组，包括制动气缸和制动组件，制动气缸驱动制动组件，制动组件在控制器控制转角定位精密制动模组时与对位连接装置卡紧。借此，本实用新型减小了CCD金相研磨机加工过程中，由识别卡爪再传递到研磨卡爪进行研磨的传递误差，提高了研磨精度。

技术领域

本实用新型涉及金相片加工技术领域，尤其涉及一种金相研磨机的精密对位研磨机构及其金相研磨机。

背景技术

金相研磨机是用于加工金相切片的设备，在金相研磨机的CCD图像处理装置完成对金相切片的图像识别后，再由识别卡爪再传递到研磨卡爪进行研磨。但是在两个卡爪之间传递金相切片时，必然会产生传递误差，造成研磨精度的下降。这样的过程对微小标的试样的研磨非常不利，使微小标的试样的研磨合格率急剧下降，甚至不能有效工作。为了应对微小标的试样的研磨，顺应PCB工艺向微小线宽结点发展的趋势，需要采用对位研磨一体结构，提高试样研磨的最终精度。但现有技术中，并未能很好解决该问题。

综上可知，现有技术在实际使用上，显然存在不便与缺陷，所以有必要加以改进。

实用新型内容

针对上述的缺陷，本实用新型的目的在于提供一种金相研磨机的精密对位研磨机构及其金相研磨机，解决CCD图像处理装置完成对金相切片的图像识别后，由识别卡爪再传递到研磨卡爪进行研磨产生传递误差，造成研磨精度的下降的问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供了一种金相研磨机的精密对位研磨机构100，金相研磨机200用于研磨金相切片201，所述金相研磨机200还包括控制器和CCD图像处理装置202，所述精密对位研磨机构100包括：

竖直精密运动模组10，包括竖直驱动制动电机11、竖直运动装置12以及测量反馈装置13；所述竖直驱动制动电机11驱动所述竖直运动装置12竖直运动，所述测量反馈装置13安装于所述竖直运动装置12上，且测量所述竖直运动装置12的运动量，将所述运动量反馈到所述控制器；

转角纠偏对位模组20，包括转角纠偏对位驱动电机21、对位连接装置22、转动传动装置23以及样品夹持装置24；所述对位连接装置22将所述转角纠偏对位模组20与所述竖直精密运动模组10连接，以及将所述转角纠偏对位驱动电机21与所述转动传动装置23连接；所述转角纠偏对位驱动电机21驱动所述转动传动装置23转动；所述转动传动装置23驱动所述样品夹持装置24夹持金相切片201；

转角定位精密制动模组30，包括制动气缸31和制动组件32，所述制动气缸31驱动所述制动组件32，所述制动组件32设置于所述对位连接装置22的下端，并在所述控制器控制所述转角定位精密制动模组30时与所述对位连接装置22卡紧。

根据的精密对位研磨机构100，所述竖直运动装置12包括竖直模组本体结构121、精密丝杆系统122、精密直线滑轨123以及竖直运动连接板124；

所述精密丝杆系统122和精密直线滑轨123安装在所述竖直模组本体结构121上，所述竖直运动连接板124套接在所述精密直线滑轨123上；

所述竖直驱动制动电机11驱动所述精密丝杆系统122旋转，以带动所述竖直运动连接板124在所述精密直线滑轨123上竖直运动；

所述测量反馈装置13测量所述竖直运动连接板124的运动量，并将所述运动量反馈到所述控制器。