[实用新型]一种质谱仪及其离子清洁装置

权利要求书

1.一种离子清洁装置，其特征在于，包括激光器(1)、与所述激光器(1)连接的光路调节器(2)以及安装于质谱仪的移动平台上的反射镜(3)，所述反射镜(3)的最高点低于所述质谱仪用于安装样品靶板的样品靶槽(41)的最低点；

所述反射镜(3)水平设置于所述移动平台上、或倾斜朝向所述光路调节器(2)一侧安装于所述移动平台上。

2.根据权利要求1所述的离子清洁装置，其特征在于，还包括靶板定位板(4)，所述靶板定位板(4)内设有所述样品靶槽(41)，所述样品靶槽(41)的底部设有用于安装所述反射镜(3)的容纳孔(42)。

3.根据权利要求2所述的离子清洁装置，其特征在于，所述反射镜(3)为平面镜或球面镜。

4.根据权利要求1-3任一项所述的离子清洁装置，其特征在于，还包括驱动电机，所述驱动电机的输出轴与所述反射镜(3)连接，以带动所述反射镜(3)转动。

5.根据权利要求2或3所述的离子清洁装置，其特征在于，所述靶板定位板(4)的边缘设有用于擦拭离子源底板(51)的底面的弹性清洁部(43)，所述弹性清洁部(43)的厚度大于所述靶板定位板(4)到所述离子源底板(51)的高度。

6.根据权利要求5所述的离子清洁装置，其特征在于，所述弹性清洁部(43)包括聚氨酯清洁部。

7.根据权利要求5所述的离子清洁装置，其特征在于，所述弹性清洁部(43)的表面均匀设有若干个擦拭凸起。

8.根据权利要求7所述的离子清洁装置，其特征在于，所述擦拭凸起包括条纹凸起和/或网状凸起。

9.一种质谱仪，其特征在于，包括权利要求1-8任一项所述的离子清洁装置。