[实用新型]一种硅片规整设备

权利要求书

1.一种硅片规整设备，其特征在于：包括箱体(1)，通过横移组件安装在箱体(1)内的弹夹(2)、以及用于对弹夹(2)上的硅片进行规整的规整机械手(3)；

所述横移组件安装在箱体(1)底部，所述弹夹(2)通过弹夹横移座(21)安装在横移组件上，所述规整机械手(3)安装在箱体(1)侧壁上位于弹夹(2)两侧。

2.根据权利要求1所述的一种硅片规整设备，其特征在于：所述规整机械手(3)设有两组，所述箱体(1)两侧壁对称设有台架(30)，两组规整机械手(3)通过竖移杆(37)升降安装在台架(30)上。

3.根据权利要求2所述的一种硅片规整设备，其特征在于：两组规整机械手(3)结构相同，每组规整机械手(3)包括安装座(32)，安装座(32)底部四角安装有竖移杆(37)，台架(30)上安装有液压升降机，液压升降机贯穿台架(30)台面与安装座(32)底部固定连接，台架(30)台面的四角设有与竖移杆(37)相对应的移杆孔，四个竖移杆(37)分别安装在移杆孔内。

4.根据权利要求3所述的一种硅片规整设备，其特征在于：每组规整机械手(3)还包括驱动电机(31)、滑杆(33)、夹板(36)，所述滑杆(33)安装在安装座(32)上，所述安装座(32)侧壁开有两个第一通孔，所述滑杆(33)设有两个，两个滑杆(33)一端贯穿第一通孔后通过转接板(35)与夹板(36)连接，滑杆(33)另一端通过挡板(34)连接；

所述安装座(32)侧壁上还设有第二通孔，第二通孔内安装有丝杠，丝杠一端贯穿第二通孔后连接有第一驱动轮，所述挡板(34)上设有第三通孔，第三通孔内安装有丝杠螺母，丝杠的另一端则贯穿丝杠螺母；

所述安装座(32)顶部设有安装板，驱动电机(31)安装在安装板上，驱动电机(31)转轴端连接有第二驱动轮，第二驱动轮通过第一传送带与第一驱动轮连接。

5.根据权利要求1所述的一种硅片规整设备，其特征在于：所述横移组件包括横移电机(4)、第二传送带(41)、第二齿轮(42)、第三传送带(44)、第三齿轮(43)，所述箱体(1)一端设有电机安装座(32)，所述横移电机(4)安装在电机安装座(32)上，横移电机(4)一端连接有第一齿轮，箱体(1)底部设有多个转轴安装座(32)，转轴安装座(32)上安装有转轴，转轴一端与第二齿轮(42)连接，所述第二齿轮(42)与第一齿轮通过第二传送带(41)连接，箱体(1)底部远离转轴安装座(32)一端设有齿轮安装座(45)，所述第三齿轮(43)安装在齿轮安装座(45)上，所述转轴中间位置安装有第四齿轮，第四齿轮与第三齿轮(43)通过第三传送带(44)连接。

6.根据权利要求5所述的一种硅片规整设备，其特征在于：所述弹夹横移座(21)固定在第三传送带(44)上，箱体(1)底部设有两组横移杆(22)，弹夹横移座(21)底部设有与横移杆(22)相对应的滑块，滑块滑动安装在横移杆(22)上。

7.根据权利要求6所述的一种硅片规整设备，其特征在于：所述箱体(1)远离弹夹横移座(21)的一端安装有晶片托板(5)。