[实用新型]一种自动取料机构及其芯片外观自动检测机

说明书

本实用新型提供一种自动取料机构及其芯片外观自动检测机，所述自动取料机构包括：X轴电机同步带模组、晶圆轨道、Y轴电机同步带模组、夹爪组件和扫码器组件；所述晶圆轨道设置于所述X轴电机同步带模组上，并设置于所述Y轴电机同步带模组的两侧；所述夹爪组件设置于所述Y轴电机同步带模组上，所述扫码器组件设置于所述夹爪组件靠近晶圆的一侧。本实用新型能够通过改进后整体结构将晶圆从料框中取出，并通过所述扫描器扫描晶圆的二维码以获取产品信息，还能够在晶圆完成测试后将其从下料位送回料框中，进而为自动取料提供了很好的基础，且成本低，便于后期维护，同时还能够在合理控制成本的基础上再进一步提升其智能化设计程度。

技术领域

本实用新型涉及一种取料机构，尤其涉及一种自动取料机构，并涉及包括了该自动取料机构的芯片外观自动检测机。

背景技术

国内半导体行业起步较晚，晶圆芯片产品外观检测通常采用的是人工检测方式，需要耗费大量的人力和工时，同时容易在检测中造成二次污染和损坏；现有市场上晶圆检测设备为了提高工作效率，通过机械手来实现自动上料，这种自动上料方式造价高，且维护成本也高；另一方面，还需要与机械手相配套的取料机构来实现其上料和取料，对于生产企业来说，这种方式成本较高且不利于后期维护，因此需要在合理控制成本的基础上保证自动取料的自动化程度。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是需要提供一种适用于芯片外观自动检测机的低成本的自动取料机构，在此基础上，还进一步提供包括了该自动取料机构的芯片外观自动检测机。

对此，本实用新型提供一种自动取料机构，包括：X轴电机同步带模组、晶圆轨道、Y轴电机同步带模组、夹爪组件和扫码器组件；所述晶圆轨道设置于所述X轴电机同步带模组上，并设置于所述Y轴电机同步带模组的两侧；所述夹爪组件设置于所述Y轴电机同步带模组上，所述扫码器组件设置于所述夹爪组件靠近晶圆的一侧。

本实用新型的进一步改进在于，所述晶圆轨道包括轨道本体和轨道支架，所述轨道本体设置于所述Y轴电机同步带模组的两侧，所述轨道本体通过所述轨道支架滑动设置于所述X轴电机同步带模组上。

本实用新型的进一步改进在于，还包括光电感应器，所述光电感应器设置于所述轨道支架的内壁，并设置于所述Y轴电机同步带模组的下方。

本实用新型的进一步改进在于，所述轨道本体远离所述Y轴电机同步带模组的一侧还设置有凸起挡边。

本实用新型的进一步改进在于，所述夹爪组件包括夹爪安装板、夹爪气缸和夹爪，所述夹爪安装板滑动设置于所述Y轴电机同步带模组上，所述夹爪和夹爪气缸均安装于所述夹爪安装板上，所述夹爪与所述夹爪气缸相连接。

本实用新型的进一步改进在于，所述扫码器组件包括扫码器和扫码器安装件，所述扫码器通过所述扫码器安装件固定设置于所述夹爪安装板上。

本实用新型的进一步改进在于，所述扫码器安装件包括立柱和连接块，所述扫码器通过转轴安装于所述立柱上，所述立柱的下端通过所述连接块与所述夹爪安装板固定连接。

本实用新型的进一步改进在于，所述X轴电机同步带模组包括X轴电机同步带和X轴轨道平台，所述X轴电机同步带设置于所述X轴轨道平台上，并带动所述晶圆轨道的X轴运动；所述Y轴电机同步带模组包括Y轴电机同步带和Y轴轨道平台，所述Y轴电机同步带设置于所述Y轴轨道平台上，并带动所述夹爪组件的Y轴运动。

本实用新型的进一步改进在于，还包括拖链，所述拖链设置于所述Y轴电机同步带模组上。

本实用新型还提供一种芯片外观自动检测机，包括了如上所述的自动取料机构。