[实用新型]一种自动取料机构及其芯片外观自动检测机

权利要求书

1.一种自动取料机构，其特征在于，包括：X轴电机同步带模组、晶圆轨道、Y轴电机同步带模组、夹爪组件和扫码器组件；所述晶圆轨道设置于所述X轴电机同步带模组上，并设置于所述Y轴电机同步带模组的两侧；所述夹爪组件设置于所述Y轴电机同步带模组上，所述扫码器组件设置于所述夹爪组件靠近晶圆的一侧。

2.根据权利要求1所述的自动取料机构，其特征在于，所述晶圆轨道包括轨道本体和轨道支架，所述轨道本体设置于所述Y轴电机同步带模组的两侧，所述轨道本体通过所述轨道支架滑动设置于所述X轴电机同步带模组上。

3.根据权利要求2所述的自动取料机构，其特征在于，还包括光电感应器，所述光电感应器设置于所述轨道支架的内壁，并设置于所述Y轴电机同步带模组的下方。

4.根据权利要求2所述的自动取料机构，其特征在于，所述轨道本体远离所述Y轴电机同步带模组的一侧还设置有凸起挡边。

5.根据权利要求1至4任意一项所述的自动取料机构，其特征在于，所述夹爪组件包括夹爪安装板、夹爪气缸和夹爪，所述夹爪安装板滑动设置于所述Y轴电机同步带模组上，所述夹爪和夹爪气缸均安装于所述夹爪安装板上，所述夹爪与所述夹爪气缸相连接。

6.根据权利要求5所述的自动取料机构，其特征在于，所述扫码器组件包括扫码器和扫码器安装件，所述扫码器通过所述扫码器安装件固定设置于所述夹爪安装板上。

7.根据权利要求6所述的自动取料机构，其特征在于，所述扫码器安装件包括立柱和连接块，所述扫码器通过转轴安装于所述立柱上，所述立柱的下端通过所述连接块与所述夹爪安装板固定连接。

8.根据权利要求1至4任意一项所述的自动取料机构，其特征在于，所述X轴电机同步带模组包括X轴电机同步带和X轴轨道平台，所述X轴电机同步带设置于所述X轴轨道平台上，并带动所述晶圆轨道的X轴运动；所述Y轴电机同步带模组包括Y轴电机同步带和Y轴轨道平台，所述Y轴电机同步带设置于所述Y轴轨道平台上，并带动所述夹爪组件的Y轴运动。

9.根据权利要求1至4任意一项所述的自动取料机构，其特征在于，还包括拖链，所述拖链设置于所述Y轴电机同步带模组上。

10.一种芯片外观自动检测机，其特征在于，包括了如权利要求1至9任意一项所述的自动取料机构。