[实用新型]一种桌面型晶圆检测机的视窗结构

说明书

本实用新型提供了一种桌面型晶圆检测机的视窗结构，包括晶圆检测机本体，所述晶圆检测机本体的一侧设有开口，在开口处设有门框，在所述开口的两侧设有无杆气缸，在所述门框的两侧分别设有与两侧无杆气缸配合连接的连接件A和连接件B，通过无杆气缸与门框的连接，因此，门框可滑动开合于晶圆检测机本体；本实用新型通过无杆气缸带动门框进行上下滑动，实现对晶圆检测机本体的打开和闭合，自动化程度高，并且无杆气缸可节省安装空间，上下滑动的方式也减少了占用空间，实用性强。

技术领域

本实用新型涉及晶圆检测技术领域，尤其涉及一种桌面型晶圆检测机的视窗结构。

背景技术

现有技术中，用于对晶圆等高精密零部件的测试柜，不设置防护门，安全性低，或者设置的门框结构是通过手动推开或翻开，操作不方便并且存在安全隐患的问题。

因此，急需设计一种桌面型晶圆检测机的视窗结构以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种桌面型晶圆检测机的视窗结构，用于解决现有技术中，开门方式需要手动操作，操作不方便，并且存在安全隐患的问题。

为解决上述问题，本实用新型提供以下技术方案：桌面型晶圆检测机的视窗结构，包括晶圆检测机本体，所述晶圆检测机本体的一侧设有开口，在开口处设有门框，在所述开口的两侧设有无杆气缸，在所述门框的两侧分别设有与两侧无杆气缸配合连接的连接件A和连接件B，通过无杆气缸与门框的连接，因此，门框可滑动开合于晶圆检测机本体。

进一步的，在所述开口的一侧设置有阻挡部件，所述阻挡部件用于对门框的位置进行限位。

进一步的，所述阻挡部件为气缸，所述气缸的输出端设有限位杆，所述连接件A设有与所述限位杆适配的第一限位孔和第二限位孔，分别用于在闭合和开启状态下对门框进行限位。

进一步的，在所述开口的两侧还设有滑轨，在滑轨上设有滑块，所述滑块与所述门框连接，所述滑块随所述门框滑动。

进一步的，在所述开口的两侧均设有安全光栅。

进一步的，所述门框还设有透明的挡板。

与现有技术相比，本实用新型至少具有以下有益效果：

本实用新型通过无杆气缸带动门框进行上下滑动，实现对晶圆检测机本体的打开和闭合，自动化程度高，并且无杆气缸可节省安装空间，上下滑动的方式也减少了占用空间，实用性强。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例中晶圆检测机本体闭合状态下的结构示意图；

图2是本实用新型实施例中晶圆检测机本体打开状态下的结构示意图；

图3是本实用新型实施例中的部分结构爆炸示意图；

图4是本实用新型实施例中的部分结构示意图；

图5是图4中A处的放大图；

图6本实用新型实施例中门框的结构示意图；

其中，1、晶圆检测机本体，101、开口，2、门框，3、挡板。4、连接件A，41、第一限位孔，42、第二限位孔，5、连接件B，6、滑轨安装件A，7、安装件，8、无杆气缸，9、气缸，91、限位杆，10、安全光栅，11、滑轨安装件B，12、滑块，13、滑轨。

具体实施方式