[实用新型]一种桌面型晶圆检测机的视窗结构

权利要求书

1.一种桌面型晶圆检测机的视窗结构，包括晶圆检测机本体，其特征在于，所述晶圆检测机本体的一侧设有开口，在开口处设有门框，在所述开口的两侧设有无杆气缸，在所述门框的两侧分别设有与两侧无杆气缸配合连接的连接件A和连接件B，通过无杆气缸与门框的连接，因此，门框可滑动开合于晶圆检测机本体。

2.根据权利要求1所述的桌面型晶圆检测机的视窗结构，其特征在于，在所述开口的一侧设置有阻挡部件，所述阻挡部件用于对门框的位置进行限位。

3.根据权利要求2所述的桌面型晶圆检测机的视窗结构，其特征在于，所述阻挡部件为气缸，所述气缸的输出端设有限位杆，所述连接件A设有与所述限位杆适配的第一限位孔和第二限位孔，分别用于在闭合和开启状态下对门框进行限位。

4.根据权利要求1所述的桌面型晶圆检测机的视窗结构，其特征在于，在所述开口的两侧还设有滑轨，在滑轨上设有滑块，所述滑块与所述门框连接，所述滑块随所述门框滑动。

5.根据权利要求1所述的桌面型晶圆检测机的视窗结构，其特征在于，在所述开口的两侧均设有安全光栅。

6.根据权利要求1至5任一所述的桌面型晶圆检测机的视窗结构，其特征在于，所述门框还设有透明的挡板。