[实用新型]一种用于PAD芯片加工的刻蚀机有效

专利信息
申请号: 202120391918.9 申请日: 2021-02-22
公开(公告)号: CN214203634U 公开(公告)日: 2021-09-14
发明(设计)人: 危功辉 申请(专利权)人: 深圳市同和光电科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 深圳市汇信知识产权代理有限公司 44477 代理人: 赵英杰
地址: 518000 广东省深圳市宝安区新安*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 pad 芯片 加工 刻蚀
【权利要求书】:

1.一种用于PAD芯片加工的刻蚀机,包括壳体(1)和机体(2),所述机体(2)设在壳体(1)内部,其特征在于:所述壳体(1)内部固定设有降颤机构,所述降颤机构穿过壳体(1)并且延伸至壳体(1)顶部;

所述降颤机构包括压板(3),所述压板(3)固定设在机体(2)顶部并且位于壳体(1)内部,所述压板(3)顶部固定设有电动推杆(4),所述电动推杆(4)贯穿壳体(1)顶部一侧壁,所述电动推杆(4)外壁与壳体(1)内壁固定连接,所述机体(2)外侧固定套设有小框体(5),所述小框体(5)设在壳体(1)内部,所述小框体(5)底部设有多个套筒(6),多个所述套筒(6)内部均活动设有第一杆体(7),所述第一杆体(7)外侧套设有弹簧(8),所述弹簧(8)底部设有大框体(9),所述大框体(9)固定设在壳体(1)内部,所述大框体(9)顶部和小框体(5)底部均固定设有多个工字形块体,多个所述套筒(6)顶端和多个第一杆体(7)底端分别活动套设在多个工字形块体外侧,所述壳体(1)内部活动设有支撑板(11),所述支撑板(11)活动贯穿壳体(1)前侧一侧壁,所述支撑板(11)前侧设有抓紧组件。

2.根据权利要求1所述的一种用于PAD芯片加工的刻蚀机,其特征在于:所述壳体(1)内部固定设有支撑柱(10),所述大框体(9)套设在支撑柱(10)外侧,所述支撑板(11)底部与支撑柱(10)顶部相接触,所述支撑板(11)底部与大框体(9)顶部位于同一水平面,所述支撑板(11)顶部开设有开口(12)。

3.根据权利要求2所述的一种用于PAD芯片加工的刻蚀机,其特征在于:所述壳体(1)内部固定设有两个板体(13),两个所述板体(13)分别设在支撑板(11)两侧,所述板体(13)设在多个弹簧(8)之间。

4.根据权利要求3所述的一种用于PAD芯片加工的刻蚀机,其特征在于:所述板体(13)内侧活动设有第二杆体(14),所述第二杆体(14)活动贯穿开口(12)一侧壁,所述第二杆体(14)内端固定设有橡胶垫(15),所述橡胶垫(15)活动设在开口(12)内部,所述橡胶垫(15)和开口(12)内部一侧壁之间固定设有多个弹性绳(16),多个所述弹性绳(16)均设在第二杆体(14)外侧。

5.根据权利要求2所述的一种用于PAD芯片加工的刻蚀机,其特征在于:所述支撑柱(10)顶部开设有两个滑槽,两个所述滑槽内部均设有滑块(17),所述滑块(17)与滑槽构成滑动结构,所述滑块(17)顶部与支撑板(11)底部固定连接。

6.根据权利要求3所述的一种用于PAD芯片加工的刻蚀机,其特征在于:所述板体(13)设置为三角形。

7.根据权利要求1所述的一种用于PAD芯片加工的刻蚀机,其特征在于:所述抓紧组件包括把手,所述把手固定设在支撑板(11)前侧。

8.根据权利要求1所述的一种用于PAD芯片加工的刻蚀机,其特征在于:所述抓紧组件包括U形杆,所述U形杆固定设在支撑板(11)前侧。

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