[实用新型]一种用于PAD芯片加工的刻蚀机有效
申请号: | 202120391918.9 | 申请日: | 2021-02-22 |
公开(公告)号: | CN214203634U | 公开(公告)日: | 2021-09-14 |
发明(设计)人: | 危功辉 | 申请(专利权)人: | 深圳市同和光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 深圳市汇信知识产权代理有限公司 44477 | 代理人: | 赵英杰 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区新安*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 pad 芯片 加工 刻蚀 | ||
1.一种用于PAD芯片加工的刻蚀机,包括壳体(1)和机体(2),所述机体(2)设在壳体(1)内部,其特征在于:所述壳体(1)内部固定设有降颤机构,所述降颤机构穿过壳体(1)并且延伸至壳体(1)顶部;
所述降颤机构包括压板(3),所述压板(3)固定设在机体(2)顶部并且位于壳体(1)内部,所述压板(3)顶部固定设有电动推杆(4),所述电动推杆(4)贯穿壳体(1)顶部一侧壁,所述电动推杆(4)外壁与壳体(1)内壁固定连接,所述机体(2)外侧固定套设有小框体(5),所述小框体(5)设在壳体(1)内部,所述小框体(5)底部设有多个套筒(6),多个所述套筒(6)内部均活动设有第一杆体(7),所述第一杆体(7)外侧套设有弹簧(8),所述弹簧(8)底部设有大框体(9),所述大框体(9)固定设在壳体(1)内部,所述大框体(9)顶部和小框体(5)底部均固定设有多个工字形块体,多个所述套筒(6)顶端和多个第一杆体(7)底端分别活动套设在多个工字形块体外侧,所述壳体(1)内部活动设有支撑板(11),所述支撑板(11)活动贯穿壳体(1)前侧一侧壁,所述支撑板(11)前侧设有抓紧组件。
2.根据权利要求1所述的一种用于PAD芯片加工的刻蚀机,其特征在于:所述壳体(1)内部固定设有支撑柱(10),所述大框体(9)套设在支撑柱(10)外侧,所述支撑板(11)底部与支撑柱(10)顶部相接触,所述支撑板(11)底部与大框体(9)顶部位于同一水平面,所述支撑板(11)顶部开设有开口(12)。
3.根据权利要求2所述的一种用于PAD芯片加工的刻蚀机,其特征在于:所述壳体(1)内部固定设有两个板体(13),两个所述板体(13)分别设在支撑板(11)两侧,所述板体(13)设在多个弹簧(8)之间。
4.根据权利要求3所述的一种用于PAD芯片加工的刻蚀机,其特征在于:所述板体(13)内侧活动设有第二杆体(14),所述第二杆体(14)活动贯穿开口(12)一侧壁,所述第二杆体(14)内端固定设有橡胶垫(15),所述橡胶垫(15)活动设在开口(12)内部,所述橡胶垫(15)和开口(12)内部一侧壁之间固定设有多个弹性绳(16),多个所述弹性绳(16)均设在第二杆体(14)外侧。
5.根据权利要求2所述的一种用于PAD芯片加工的刻蚀机,其特征在于:所述支撑柱(10)顶部开设有两个滑槽,两个所述滑槽内部均设有滑块(17),所述滑块(17)与滑槽构成滑动结构,所述滑块(17)顶部与支撑板(11)底部固定连接。
6.根据权利要求3所述的一种用于PAD芯片加工的刻蚀机,其特征在于:所述板体(13)设置为三角形。
7.根据权利要求1所述的一种用于PAD芯片加工的刻蚀机,其特征在于:所述抓紧组件包括把手,所述把手固定设在支撑板(11)前侧。
8.根据权利要求1所述的一种用于PAD芯片加工的刻蚀机,其特征在于:所述抓紧组件包括U形杆,所述U形杆固定设在支撑板(11)前侧。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造