[实用新型]一种晶圆夹压装置

权利要求书

1.一种晶圆夹压装置，其特征在于，其包括压环和变径环，所述压环包括压环主体，所述压环主体吊装在遮罩的底部，所述压环主体置于用于承载晶圆的载片台的上方，所述变径环嵌设在压环主体的内径内，所述压环主体上沿着圆周方向开设有多个压杆调节槽，每一压杆调节槽的长度方向为由压环主体的边沿向内径方向，每一压杆调节槽内嵌入压杆，所述压杆包括基座，所述基座上固定有长条滑块，所述长条滑块滑配于对应压杆调节槽内，所述基座的前端固定有遮盖，所述遮盖上固定有压点，所述压点朝向晶圆用于压设晶圆，每一基座和长条滑块上竖向开设有固定螺孔，通过固定螺丝依次穿设基座和长条滑块上的固定螺孔并锁紧压杆与对应的压杆调节槽。

2.如权利要求1所述的晶圆夹压装置，其特征在于，所述压环主体上沿着圆周方向均匀地开设有三个压杆调节槽。

3.如权利要求1所述的晶圆夹压装置，其特征在于，所述压环主体的内径为200mm。

4.如权利要求1所述的晶圆夹压装置，其特征在于，所述遮盖的高度为2mm，所述压点的高度为1mm。