[实用新型]微波等离子体化学气相沉积MPCVD系统的保护电路

权利要求书

1.一种微波等离子体化学气相沉积MPCVD系统的保护电路，其特征在于，设置于MPCVD系统，所述MPCVD系统包括真空泵，所述保护电路包括自动控制开关、手动控制开关、控制器和触摸屏，所述控制器与所述触摸屏电连接；

所述真空泵通过所述自动控制开关以及所述手动控制开关与电源连接；

所述自动控制开关和所述手动控制开关均与所述控制器电连接。

2.根据权利要求1所述的保护电路，其特征在于，所述真空泵包括前级机械泵、维持机械泵、罗茨泵和分子泵，所述自动控制开关包括第一自动控制开关、第二自动控制开关、第三自动控制开关和第四自动控制开关，所述手动控制开关包括第一手动控制开关、第二手动控制开关、第三手动控制开关和第四手动控制开关；

所述前级机械泵通过所述第一自动控制开关、所述第一手动控制开关与电源连接；

所述维持机械泵通过所述第二自动控制开关、所述第二手动控制开关与电源连接；

所述罗茨泵通过所述第三自动控制开关、所述第三手动控制开关与电源连接；

所述分子泵通过所述第四自动控制开关、所述第四手动控制开关与电源连接。

3.根据权利要求2所述的保护电路，其特征在于，所述第一自动控制开关包括第一空气开关和第一热继电器，所述第二自动控制开关包括第二空气开关和第二热继电器，所述第三自动控制开关包括第三空气开关和第三热继电器，所述第四自动控制开关包括第四空气开关和第四热继电器；

所述前级机械泵依次通过所述第一空气开关、所述第一手动控制开关以及所述第一热继电器与电源连接；

所述维持机械泵依次通过所述第二空气开关、所述第二手动控制开关以及所述第二热继电器与电源连接；

所述罗茨泵依次通过所述第三空气开关、所述第三手动控制开关以及所述第三热继电器与电源连接；

所述分子泵依次通过所述第四空气开关、所述第四手动控制开关以及所述第四热继电器与电源连接。

4.根据权利要求1所述的保护电路，其特征在于，所述保护电路还包括温度传感器，所述温度传感器设置于所述真空泵，所述温度传感器与所述控制器电连接。

5.根据权利要求1所述的保护电路，其特征在于，所述保护电路还包括振动传感器，所述振动传感器设置于所述真空泵，所述振动传感器与所述控制器电连接。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的保护电路，其特征在于，所述保护电路还包括扬声器，所述控制器与所述扬声器电连接；

所述自动控制开关和所述手动控制开关均与所述扬声器电连接。

7.根据权利要求1-5中任一项所述的保护电路，其特征在于，所述保护电路还包括LED灯，所述控制器与所述LED灯电连接；

所述自动控制开关和所述手动控制开关均与所述LED灯电连接。

8.根据权利要求1-5中任一项所述的保护电路，其特征在于，所述真空泵与电源之间的导线的横截面积大于或等于1平方毫米。