[实用新型]进行金属表面改性的装置

权利要求书

1.一种进行金属表面改性的装置，其特征在于，包括：

箱体，其进一步包括气体冷却系统、稀有气体输入系统、废气排出系统和样品放置台；所述箱体内还设置有隔离发生腔，所述隔离发生腔分别与所述气体冷却系统和所述废气排出系统连接；所述样品放置台设置在所述隔离发生腔的下方，其中所述样品放置台上放置有金属片；所述隔离发生腔内还具有等离子体放电发生器，所述稀有气体输入系统与所述等离子体放电发生器连接，所述等离子体放电发生器用于产生射流等离子体并喷射到所述金属片的表面。

2.根据权利要求1所述的进行金属表面改性的装置，其特征在于，所述气体冷却系统包括：氮气进气流量计、氮气进气流量调节旋钮、氮气电磁阀开关和气体冷却器。

3.根据权利要求1所述的进行金属表面改性的装置，其特征在于，所述废气排出系统包括：废气排出气流量计、废气排出气流量调节旋钮、废气排出泵、废气电磁阀开关。

4.根据权利要求1所述的进行金属表面改性的装置，其特征在于，所述稀有气体输入系统包括：稀有气体进气流量计、稀有气体进气流量调节旋钮、稀有气体电磁阀开关。

5.根据权利要求1所述的进行金属表面改性的装置，其特征在于，所述等离子体放电发生器包括：等离子体发生器外管、等离子体发生器高压电极、等离子体发生器负极、等离子体发生器液体管、发生器防回流罩、等离子体激发气体入口；

在所述等离子体发生器外管的顶部和下部分别设置有等离子体发生器高压电极和等离子体发生器负极，所述等离子体发生器高压电极和所述等离子体发生器负极构成介质阻挡放电结构；所述等离子体发生器液体管设置在所述等离子体发生器高压电极内部，所述等离子体激发气体入口设置在所述等离子体发生器外管的顶部，稀有气体通过所述等离子体激发气体入口进入所述等离子体发生器外管；所述等离子体发生器外管的下部与所述样品放置台相对。

6.根据权利要求5所述的进行金属表面改性的装置，其特征在于，所述等离子体发生器液体管包括入口，所述等离子体发生器液体管的入口设置在所述隔离发生腔之外。

7.根据权利要求5所述的进行金属表面改性的装置，其特征在于，所述隔离发生腔开有通孔，所述样品放置台通过所述通孔插入所述隔离发生腔的内部。