[实用新型]一种用于聚酰胺酸膜基板刻蚀的定位装置有效

专利信息
申请号: 202120349390.9 申请日: 2021-02-06
公开(公告)号: CN214012922U 公开(公告)日: 2021-08-20
发明(设计)人: 王传华;李铭新;王冰;陈宝喜;贾杰 申请(专利权)人: 波米科技有限公司
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68;H01L21/67
代理公司: 济南文衡创服知识产权代理事务所(普通合伙) 37323 代理人: 郭晓丹
地址: 252300 山东省聊城*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 聚酰胺 酸膜基板 刻蚀 定位 装置
【权利要求书】:

1.一种用于聚酰胺酸膜基板刻蚀的定位装置,包括主体机构(1),其特征在于:所述主体机构(1)的内部对称滑动连接有两个调节机构(3),所述调节机构(3)的内部滑动连接有固定机构(2),所述固定机构(2)包括拉杆(21)、连接板(22)、卡环(23)、防滑垫(24)、滑杆(25)、压簧(26)和连杆(27),所述拉杆(21)的两端固定安装于所述连接板(22)的侧壁,所述连接板(22)抵触于所述调节机构(3)的侧壁并与所述滑杆(25)的一端固定连接,所述滑杆(25)滑动连接于所述调节机构(3)的内壁且另一端固定连接于所述卡环(23)的内壁,所述卡环(23)滑动于所述调节机构(3)的内部,所述防滑垫(24)粘接于所述卡环(23)背离所述滑杆(25)的侧壁,所述压簧(26)套接于所述滑杆(25)的侧壁且两端分别固定连接于所述调节机构(3)和所述卡环(23),两个所述连杆(27)的一端对称转动连接于所述卡环(23)的内壁且另一端转动连接于所述调节机构(3)的内壁,所述主体机构(1)的内部转动连接有转动机构(4)。

2.根据权利要求1所述的一种用于聚酰胺酸膜基板刻蚀的定位装置,其特征在于:所述主体机构(1)包括转盘(11)和底座(12),所述转盘(11)转动连接于所述底座(12)的顶端,且所述转盘(11)为圆形结构。

3.根据权利要求2所述的一种用于聚酰胺酸膜基板刻蚀的定位装置,其特征在于:所述主体机构(1)还包括支撑板(13)和螺钉(14),两个所述支撑板(13)的一端对称固定连接于所述底座(12)的底端,且所述支撑板(13)为L形结构,两个所述螺钉(14)对称螺纹连接于所述支撑板(13)的内壁。

4.根据权利要求2所述的一种用于聚酰胺酸膜基板刻蚀的定位装置,其特征在于:所述调节机构(3)包括旋钮(31)、滑槽(32)和第一螺杆(34),所述第一螺杆(34)的一端贯穿所述转盘(11)的内壁并延伸至所述旋钮(31),所述旋钮(31)转动连接于所述转盘(11)的侧壁,所述转盘(11)的内部设有所述滑槽(32),所述第一螺杆(34)转动连接于所述转盘(11)内部设有的所述滑槽(32)部位,且所述第一螺杆(34)两端的螺纹转动方向相反。

5.根据权利要求4所述的一种用于聚酰胺酸膜基板刻蚀的定位装置,其特征在于:所述调节机构(3)还包括卡板(33)和滑块(35),两个所述滑块(35)对称滑动连接于所述转盘(11)内部设有的所述滑槽(32)部位,且所述滑块(35)螺纹连接于所述第一螺杆(34)的侧壁,所述滑块(35)的顶端固定连接于所述卡板(33),两个所述卡板(33)对称滑动连接于所述转盘(11)的顶端,所述连接板(22)抵触于所述卡板(33)的侧壁,所述滑杆(25)滑动连接于所述卡板(33)的内壁,所述压簧(26)的一端固定连接于所述卡板(33)的内壁,所述连杆(27)的一端转动连接于所述卡板(33)的内壁。

6.根据权利要求2所述的一种用于聚酰胺酸膜基板刻蚀的定位装置,其特征在于:所述转动机构(4)包括第二螺杆(41)和齿条(42),所述第二螺杆(41)的一端贯穿并转动连接于所述底座(12)的内壁,且所述第二螺杆(41)贯穿所述齿条(42)的内壁,所述齿条(42)螺纹连接于所述第二螺杆(41)的侧壁并滑动连接于所述底座(12)的内部。

7.根据权利要求6所述的一种用于聚酰胺酸膜基板刻蚀的定位装置,其特征在于:所述转动机构(4)还包括齿轮(43)和转轴(44),所述齿条(42)啮合于所述齿轮(43),所述齿轮(43)转动于所述底座(12)的内部并固定连接于所述转轴(44)的侧壁,所述转轴(44)的一端转动连接于所述底座(12)的内壁,所述转轴(44)的另一端贯穿所述底座(12)的顶端并固定连接于所述转盘(11)的内壁。

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