[实用新型]一种陶瓷基板清洗用放置治具有效
申请号: | 202120347235.3 | 申请日: | 2021-02-07 |
公开(公告)号: | CN214123849U | 公开(公告)日: | 2021-09-03 |
发明(设计)人: | 韩威风;韩巍巍;管文杰 | 申请(专利权)人: | 浙江美迪凯光学半导体有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 杭州华知专利事务所(普通合伙) 33235 | 代理人: | 张德宝 |
地址: | 314400 浙江省嘉兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 陶瓷 清洗 放置 | ||
本实用新型涉及基板清洗用具技术领域,尤其涉及一种陶瓷基板清洗用放置治具,其特征在于,包括治具本体,所述治具本体上表面开设有若干基板放置位,所述基板放置位的周边设有定位挡框,所述基板放置位上开设有若干导流槽,所述导流槽的端部均向所述治具本体外部相连通。在治具本体上开设的若干基板放置位和定位挡框,能够同时对多个基板进行固定,防止其左右移动或与其他基板聚集;基板放置位底部开设的导流槽,能够使I PA(异丙醇)等洗涤液体从基板底部流动,进而确保玻璃与基板之间冲洗掉的石蜡全部带出,使清洗效果更佳。
技术领域
本实用新型涉及基板的清洗用具技术领域,尤其涉及一种陶瓷基板清洗用放置治具。
背景技术
以往的陶瓷基板切割工艺是将陶瓷基板粘贴在UV膜上,再进行激光切割,切割完后UV膜取下,由于UV膜粘性强,导致取下UV膜后,陶瓷基板接触UV膜的那一面还残留一些胶,直接就导致产品报废,良率十分低下。为了解决这个问题,通过各种的试验,得出在陶瓷基板上放一个保护玻璃可以有效地解决这个问题,且脱离玻璃的时候,不会对陶瓷基板造成任何刮伤,也不会在陶瓷基板上留有残胶等杂物,以满足客户的需求。为了让切割后的陶瓷基板不留有残胶,需要把陶瓷基板放入IPA(异丙醇)液体中静置一段时间,以确保陶瓷基板与保护玻璃之间的石蜡被清理干净。
但是,基板的放置却是一个难题,直接将陶瓷基板放置到洗槽中,那各陶瓷基板之间容易相互影响,甚至造成划伤等;而且若基板直接放置到洗槽中,会增大基板表面与其他基板或者洗槽的接触面积,不利于基板表面的清洗,清洁。
实用新型内容
为解决上述背景技术中提出的问题,本实用新型提供一种陶瓷基板清洗用放置治具。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种陶瓷基板清洗用放置治具,包括治具本体,所述治具本体上表面开设有若干基板放置位,所述基板放置位的周边设有定位挡框,所述基板放置位上开设有若干导流槽,所述导流槽的端部均向所述治具本体外部相连通。
优选地,所述基板放置位在所述治具本体上呈网格状布设,所述治具本体外围边缘处及各相邻所述基板放置位之间均设有围设有定位挡框。
优选地,所述基板放置位呈圆形、矩形或者其它与所述陶瓷基板相匹配的形状。
优选地,围设于矩形基板放置位周边的所述定位挡框的转角处呈倒圆角设置。
优选地,所述导流槽在所述治具本体上纵横交错设置,并在长度和/或宽度方向上贯穿整个治具本体。
优选地,所述导流槽的深度≥0.5mm,导流槽宽度≥1mm。
优选地,所述治具本体的上表面为铁氟龙材质。
优选地,所述治具本体为铁氟龙材质。
优选地,所述治具本体的下表面上设有一层铝合金板。
优选地,所述治具本体上开设有若干固定孔。
本实用新型的有益效果是:在治具本体上开设的若干基板放置位和定位挡框,能够同时对多个基板进行固定,防止其左右移动或与其他基板聚集;基板放置位底部开设的导流槽,能够使IPA(异丙醇)等洗涤液体从基板底部流动,进而确保玻璃与基板之间冲洗掉的石蜡全部带出,使清洗效果更佳。
附图说明
图1是治具本体的立体结构图。
图2是图1中B处的放大图。
图3是治具本体的正视图。
图4是图3中A-A处的截面图。
其中:1-治具本体,2-基板放置位,3-定位挡框,4-导流槽,5-倒圆角,6-铝合金板,7-定位孔。
具体实施方式
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造