[实用新型]一种干涉仪

说明书

本实用新型公开了一种干涉仪，包括底座，在底座上设置有光源、分光镜、反射镜、动镜以及检测器，所述底座上还设置有滑座、连接轴以及驱动件，所述动镜设置于滑座上，所述驱动件通过滑座带动动镜沿着连接轴在横向方向上滑移。本实用新型具有干涉精度高的有益效果。

技术领域

本实用新型涉及干涉仪领域，尤其涉及一种干涉仪。

背景技术

干涉仪是根据光干涉现象制成的一种仪器。光源发出的一束光被分成两束(或多束)，经过不同的路径后再汇合成一束光，在干涉图形检测器中产生干涉图形，光束经过不同路径到达检测器的时间差如果发生改变就会引起干涉图形的改变。现有干涉仪存在干涉精度低、使用光路调整不方便的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种干涉精度高的干涉仪。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

一种干涉仪，包括底座，在底座上设置有光源、分光镜、反射镜、动镜以及检测器，所述底座上还设置有滑座、连接轴以及驱动件，所述动镜设置于滑座上，所述驱动件通过滑座带动动镜沿着连接轴在横向方向上滑移。

优选的，所述光源包括激光光源和紫外光源，所述检测器包括激光检测器和紫外光检测器，所述激光检测器用于接收干涉后的激光光源，所述紫外光检测器用于接收干涉后的紫外光源。

优选的，所述激光光源产生的激光入射至分光镜的中部。

优选的，所述紫外光源产生的紫外光入射至分光镜的外环部。

优选的，所述驱动件包括线圈和磁铁，所述线圈设置于底座上，所述磁铁设置于滑座上，所述线圈通电能通过磁铁带动滑座沿着连接轴在横向方向上滑移。

优选的，所述磁铁设置有两组，两组磁铁对称设置于滑座上且在两组磁铁之间设置有供线圈移动的间隙。

优选的，所述滑座包括连接部和竖直部，动镜设置于竖直部的前端面上，所述连接部垂直设置于竖直部的后端面上，在连接部表面向上凸起形成有两安装部，两组磁铁分别设置于两安装部的内壁上。

优选的，所述竖直部上还设置有滑移部，所述连接轴穿过滑移部设置。

优选的，所述底座上设置有安装座，所述线圈设置于安装座上。

优选的，所述连接轴的两端分别设置有轴承座，两轴承座通过螺钉固设于底座的下表面上。

与现有技术相比，本实用新型在底座上设置有光源、分光镜、反射镜、动镜以及检测器，所述底座上还设置有滑座、连接轴以及驱动件，所述动镜设置于滑座上，所述驱动件通过滑座带动动镜沿着连接轴在横向方向上滑移，保证了动镜滑移的平稳性，提高了本实用新型的干涉精度。

附图说明

图1为本实用新型所述结构示意图；

图2为本实用新型部分结构示意图；

图3为本实用新型部分结构剖视图

图中所标各部件名称如下：

1、底座；2、激光光源；21、紫外光源；3、分光镜；4、反射镜；5、动镜；6、激光检测器；61、紫外光检测器；7、磁铁；8、线圈；81、安装座；9、滑座；91、竖直部；92、连接部；93、安装部；94、滑移部；95、轴承座。

具体实施方式

以下结合附图1至附图3及具体实施例，对本实用新型作进一步的详细说明。

本实用新型公开了一种干涉仪，包括底座1，在底座1上设置有光源、分光镜3、反射镜4、动镜5以及检测器，其特征在于，所述底座1上还设置有滑座9、连接轴以及驱动件，所述动镜5设置于滑座9上，所述驱动件通过滑座9带动动镜5沿着连接轴在横向方向上滑移。