[实用新型]一种干涉仪

权利要求书

1.一种干涉仪，包括底座，在底座上设置有光源、分光镜、反射镜、动镜以及检测器，其特征在于，所述底座上还设置有滑座、连接轴以及驱动件，所述动镜设置于滑座上，所述驱动件通过滑座带动动镜沿着连接轴在横向方向上滑移。

2.根据权利要求1所述的一种干涉仪，其特征在于，所述光源包括激光光源和紫外光源，所述检测器包括激光检测器和紫外光检测器，所述激光检测器用于接收干涉后的激光光源，所述紫外光检测器用于接收干涉后的紫外光源。

3.根据权利要求2所述的一种干涉仪，其特征在于，所述紫外光源产生的紫外光入射至分光镜的中部。

4.根据权利要求2所述的一种干涉仪，其特征在于，所述激光光源产生的激光入射至分光镜的外环部。

5.根据权利要求1所述的一种干涉仪，其特征在于，所述驱动件包括线圈和磁铁，所述线圈设置于底座上，所述磁铁设置于滑座上，所述线圈通电能通过磁铁带动滑座沿着连接轴在横向方向上滑移。

6.根据权利要求5所述的一种干涉仪，其特征在于，所述磁铁设置有两组，两组磁铁对称设置于滑座上且在两组磁铁之间设置有供线圈移动的间隙。

7.根据权利要求6所述的一种干涉仪，其特征在于，所述滑座包括连接部和竖直部，动镜设置于竖直部的前端面上，所述连接部垂直设置于竖直部的后端面上，在连接部表面向上凸起形成有两安装部，两组磁铁分别设置于两安装部的内壁上。

8.根据权利要求7所述的一种干涉仪，其特征在于，所述竖直部上还设置有滑移部，所述连接轴穿过滑移部设置。

9.根据权利要求8所述的一种干涉仪，其特征在于，所述底座上设置有安装座，所述线圈设置于安装座上。

10.根据权利要求9所述的一种干涉仪，其特征在于，所述连接轴的两端分别设置有轴承座，两轴承座通过螺钉固设于底座的下表面上。