[实用新型]一种光电化学沉积槽有效

专利信息
申请号: 202120344356.2 申请日: 2021-02-07
公开(公告)号: CN214327949U 公开(公告)日: 2021-10-01
发明(设计)人: 杨佳;曹成松;张君;王薇;杨海艳;侯堪文;刘国豪;徐宝强;李绍元;杨斌;马文会;熊恒;蒋文龙;李一夫;田阳;戴永年 申请(专利权)人: 昆明理工大学
主分类号: C25D17/10 分类号: C25D17/10;C25D17/02
代理公司: 天津煜博知识产权代理事务所(普通合伙) 12246 代理人: 朱维
地址: 650093 云*** 国省代码: 云南;53
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摘要:
搜索关键词: 一种 光电 化学 沉积
【权利要求书】:

1.一种光电化学沉积槽,其特征在于:包括光源、沉积槽体(1)和极板倾角调控装置(4),光源设置在沉积槽体(1)的壁上,电极板(7)倾斜设置在沉积槽体(1)内且电极板(7)互相平行,极板倾角调控装置(4)包括电机、动力输入齿轮I(3)、动力输入齿轮II、从动齿轮I、从动齿轮II、传动链条I(5)、传动链条II和电极板(7),动力输入齿轮I(3)、动力输入齿轮II、从动齿轮I、从动齿轮II分别设置在沉积槽体(1)顶端的四角,动力输入齿轮I(3)的中心通过转动轴I与动力输入齿轮II的中心固定连接,转动轴I与电极板(7)顶端平行,转动轴I固定设置在电机的输出端,动力输入齿轮I(3)与从动齿轮I通过传动链条I(5)传动连接,动力输入齿轮II与从动齿轮II通过传动链条II传动连接,电极板(7)顶端两侧分别设置有挂耳I(12)和挂耳II,挂耳I(12)的顶端和底端均设置有与传动链条I(5)啮合传动的齿形结构I,挂耳II的顶端和底端均设置有与传动链条II啮合传动的齿形结构II。

2.根据权利要求1所述光电化学沉积槽,其特征在于:极板倾角调控装置(4)还包括活动嵌块(15),活动嵌块(15)设置在相邻电极板(7)之间的传动链条I(5)和传动链条II内,活动嵌块(15)的顶端和底端均设置有与传动链条I(5)或传动链条II啮合传动的齿形结构III,相邻活动嵌块(15)的缝隙形成电极板卡槽(6),电极板(7)顶端的挂耳I(12)和挂耳II设置在电极板卡槽(6)内。

3.根据权利要求2所述光电化学沉积槽,其特征在于:电极板卡槽(6)内设置有与电极板(7)接触的导电嵌片(11)。

4.根据权利要求1所述光电化学沉积槽,其特征在于:光电化学沉积槽的光源设置在沉积槽体(1)顶壁、侧壁、槽底壁的一处或多处。

5.根据权利要求1所述光电化学沉积槽,其特征在于:沉积槽体(1)的顶部设置有电解液入口(2)和电解液出口(8),电解液入口(2)与电解液出口(8)分别位于沉积槽体(1)的两个相对侧壁上,电解液出口(8)内设置有排液管,排液管的底端延伸至沉积槽体(1)的底部,沉积槽体(1)的底端开设有阳极泥出口(9)。

6.根据权利要求1所述光电化学沉积槽,其特征在于:电极板(7)的沉积工作区(14)边缘包覆设置有绝缘边条(13)。

7.根据权利要求1所述光电化学沉积槽,其特征在于:还包括支撑底座(10),沉积槽体(1)设置在支撑底座(10)上。

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