[实用新型]一种用于吸附易碎晶圆的旋转卡盘

权利要求书

1.一种用于吸附易碎晶圆的旋转卡盘，其特征在于，包括卡盘主体、负压装置、橡胶圈、激光探头、旋转机构、氮气喷送模组和主控制器，其中，所述卡盘主体的中部开设有晶圆卡槽，所述晶圆卡槽的下侧内壁中部设有所述旋转机构，所述晶圆卡槽的下侧内壁外缘开设有环形凹槽，所述橡胶圈设于所述环形凹槽内，所述晶圆卡槽的内周壁的下侧开设有安装槽，所述激光探头安装于所述安装槽内，所述安装槽内还设有所述氮气喷送模组，所述卡盘主体的内部设有所述负压装置和所述主控制器，所述晶圆卡槽的下侧内壁上开设有若干第一吸附孔，若干所述第一吸附孔与所述负压装置连接，所述激光探头、所述氮气喷送模组、以及所述负压装置分别与所述主控制器连接。

2.如权利要求1所述的用于吸附易碎晶圆的旋转卡盘，其特征在于，还包括应力检测机，所述应力检测机设于所述卡盘主体内，且所述应力检测机与所述负压装置信号连接。

3.如权利要求1所述的用于吸附易碎晶圆的旋转卡盘，其特征在于，所述旋转机构包括旋转支承。

4.如权利要求1所述的用于吸附易碎晶圆的旋转卡盘，其特征在于，所述氮气喷送模组包括四个氮气喷头和一氮气存储机构，其中，每一所述氮气喷头分别与所述氮气存储机构连接，所述氮气存储机构与所述主控制器连接。

5.如权利要求1所述的用于吸附易碎晶圆的旋转卡盘，其特征在于，所述橡胶圈的上表面与所述晶圆卡槽的上表面齐平。

6.如权利要求1所述的用于吸附易碎晶圆的旋转卡盘，其特征在于，所述负压装置包括真空发生器、主管路和分支管路，其中，每一所述分支管路分别连接主管路和一所述第一吸附孔，所述主管路连接所述真空发生器，所述真空发生器与所述主控制器连接。

7.如权利要求4所述的用于吸附易碎晶圆的旋转卡盘，其特征在于，每相邻的两个所述氮气喷头之间的夹角均为45°。