[实用新型]一种用于晶圆下片机的坡道

权利要求书

1.一种用于晶圆下片机的坡道，其特征在于：包括上坡道(1)、下坡道(2)，上坡道(1)、下坡道(2)之间设置有储水腔室(3)；

下坡道(2)还设置有进水孔(21)，进水孔(21)与储水腔室(3)内部连通，用于为储水腔室(3)内输水；

上坡道(1)还设置有出水孔(11)，出水孔(11)与储水腔室(3)内部连通，晶圆设置在出水孔(11)上方。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆下片机的坡道，其特征在于：出水孔(11)的轴线与地面具有小于90°的夹角。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆下片机的坡道，其特征在于：上坡道(1)与下坡道(2)的相对面的边缘部位设置有密封槽，密封槽内设置有密封条(4)。

4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆下片机的坡道，其特征在于：上坡道(1)的底部边缘部位向上凹陷形成第一环形密封槽(12)，第一环形密封槽(12)将上坡道(1)的下表面分割为第一凸起部(13)和第二凸起部(14)，第二凸起部(14)向上凹陷形成储水腔室(3)。

5.根据权利要求4所述的一种用于晶圆下片机的坡道，其特征在于：上坡道(1)的顶部边缘部位向下凹陷形成第二环形密封槽(22)，第二环形密封槽(22)将下坡道(2)的上表面分割为第三凸起部(23)和第四凸起部(24)。

6.根据权利要求5所述的一种用于晶圆下片机的坡道，其特征在于：第一环形密封槽(12)与第二环形密封槽(22)之间设置有密封条(4)，用于分隔开第二凸起部(14)、第四凸起部(24)与第一凸起部(13)、第三凸起部(23)；

第一凸起部(13)和第三凸起部(23)上对应设置有连接孔(5)，上坡道(1)和下坡道(2)通过连接孔(5)相互夹紧。

7.根据权利要求4所述的一种用于晶圆下片机的坡道，其特征在于：储水腔室(3)内还设置有填充块(6)，所述填充块(6)用于缩小储水腔室(3)的容积，以间接提高压强。

8.根据权利要求1所述的一种用于晶圆下片机的坡道，其特征在于：还设置有调整块(7)，所述调整块(7)在上坡道(1)顶部平行设有两个，两个调整块(7)之间形成便于晶圆通过的通道，两个所述调整块(7)之间的距离可调节。

9.根据权利要求8所述的一种用于晶圆下片机的坡道，其特征在于：两个所述调整块(7)与上坡道(1)可拆卸连接，所述调整块为条形调整块，调整块的长度方向与晶圆行进方向相同。

10.根据权利要求8所述的一种用于晶圆下片机的坡道，其特征在于：上坡道(1)顶部设置有用于安装调整块的调整块安装孔。